Аперон

Разработана для аппаратуры высокого давления, является частью полимеризационного аппарата и предназначена для перемешивания реагирующих веществ в автоклаве. Принцип работы мешалки магнитной основан на передаче крутящего момента через полностью герметичное соединение посредством магнитного поля. Элементы корпуса мешалки и крыльчатка выполнены из нержавеющей стали. Электродвигатель привода мешалки магнитной рассчитан на продолжительный режим работы. Мешалка магнитная с приводом состоит из муфты магнитной, соединённой с электродвигателем посредством кронштейна через муфту мембранную. Рабочим элементом мешалки является крыльчатка, непосредственно устанавливающаяся резьбовым способом в муфту магнитную. Управление электродвигателем осуществляется блоком управления. Характеристики мешалки магнитной с приводом АП 12.000.00: -рабочая температура крыльчатки: 20°С - 350°С; -макс. рабочее давление муфты магнитной 20МПа; -тип крыльчатки – лопастная; -номинальная скорость перемешивания 0 – 2000 об/мин; -максимальная скорость двигателя 3000 об/мин; -тип электродвигателя – бесколлекторный; -напряжение питания электродвигателя 48В постоянного тока; -макс. нагрузка на вал 20 – 90 Н*см; -макс. выходной ток блока управления двигателем 20А; -среда автоклава: нефтеполимерная смола, органический растворитель, водород Система управления приводом мешалки обеспечивает защиту от перенапряжения, защиту от короткого замыкания с последующим автоматическим восстановлением, защиту от перегрузки по току 150-200%. Управление приводом мешалки магнитной может задаваться в ручном режиме и предусматривает управление скоростью, ускорением, торможением и направлением вращения электродвигателя. Также, управление приводом мешалки может осуществляться в автоматическом режиме по интерфейсу RS-485. В соответствии с техническими требованиями Заказчика характеристики мешалки магнитной могут быть изменены.

Изделие предназначено для применения в составе вакуумного технологического оборудования. Представляет собой картридж (для размещения в корпусе оборудования) с полым валом (для размещения вала исполнительного механизма). Герметичность установочных поверхностей вакуумного ввода вращения обеспечивается парными уплотнительными кольцами. Герметичность внутри ввода осуществляется посредством магнитожидкостного уплотнения. Характеристики: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Разработан по техническому заданию заказчика для применения в обрабатывающем оборудовании (абразивная шлифовка) в качестве исполнительного органа. Предназначен для удерживания и перемещения заготовки в процессе шлифования. Имеет две поворотные и две линейные оси. Основные характеристики: -габариты узла: 440*470*216мм -угол поворота заготовки по вертикальной оси +/- 180° -угол поворота заготовки по горизонтальной оси =/- 45° -привод оси вертикальной – шаговый двигатель с редуктором -привод оси горизонтальной – червячный мотор-редуктор -размер обрабатываемой заготовки: 60*60*30мм -способ фиксации заготовки – вакуумный Для точного и надёжного позиционирования заготовки каждый двигатель привода оснащён энкодором (360 импульсов на оборот двигателя, соответственно, 21600 импульсов на оборот выходного вала). Подвод вакуума для вакуумной присоски обеспечивается по каналам в переходном корпусе. Линейные направляющие обеспечивают перемещение в 2 плоскостях на расстояние до 200мм при помощи шаговых двигателей (на сборке не показаны). Крайние положения линейных перемещений и наклонной оси определяются оптическими датчиками.

Назначение: уплотнение электродвигателей 2АСВО, 3АСВО со стороны выходного конца вала с целью защиты внутренних частей электродвигателя от попадания в них влаги, паров и механических частиц во время эксплуатации, при стояночном режиме или при хранении на складе. Магнитожидкостный герметизатор выполнен в виде картриджа цилиндрической формы, что позволяет устанавливать его в крышку подшипникового щита электродвигателя (крышка предварительно растачивается под внешний диаметр МЖГ). Основные технические данные МЖГ К-140: Масса изделия 2,8 кг Габариты изделия Ø200*49,2 мм Посадочный диаметр изделия 175 мм Внутренний диаметр изделия 140,80 мм Диаметр уплотняемого вала двигателя 140 мм Герметизируемая среда: влажный воздух, брызги, пыль Удерживаемый перепад давления до 25 кПа Частота вращения уплотняемого вала до 250 об/мин Степень защиты подшипникового узла, ГОСТ IEC 60034-5 IP55 Климатическое исполнение, ГОСТ 15150 У1, Т1 (всех климатических режимов). Применение герметизаторов позволяет более чем в 1,5 раза повысить ресурс электродвигателей.

Разработан для передачи вращения от двигателя на планетарную карусель вакуумной напылительной установки. Поскольку во время напыления карусель с подложкодержателями нагревается до значительных температур - корпус ввода вращения выполнен водоохлаждаемым, способ разграничения сред - магнитожидкостное уплотнение. Характеристики охлаждаемого ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением: - частота вращения 5 об/мин; - температура в области МЖУ, 120 0С; - радиальная нагрузка на вал, до 1000Н; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па. - технологические газы в камере: азот, аргон, кислород, водород.

Осуществляет вращение заслонки в вакуумной камере установки магнетронного напыления. Привод выполнен как единый узел, включающий магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), шаговый двигатель FL57ST76-1506A, редуктор прецизионный EL060 1/50 FM и муфту упругую безлюфтовую SJCA-40C-RD 16*16. Тандем двигателя и редуктора обеспечивают положение заслонки с точностью до 2,16 минут. Применение в составе привода МЖУ позволяет обеспечить длительный ресурс изделия (до 10 лет) без необходимости обслуживания, высокую степень вакуума (до 1*10-6Па) и низкое натекание (по гелию не более 10-12 м3Па/с). Установочный диаметр вала для размещения заслонки 14мм.

Устанавливается вертикально, в крышку автоклавной установки и предназначена для перемешивания высокоминерализованной воды и нефтепродуктов. Режим работы непрерывный, до 50 суток на заданных частотах. Характеристики мешалки ТВРМ.067249.003: - рабочая температура: от +20°С до +120°С; - максимальное рабочее давление 17 МПа; - номинальная скорость перемешивания регулируемая, в диапазоне от 100 об/мин до 2000 об/мин; - момент на валу мешалки, не менее: 3,18 Н*м; - детали мешалки, соприкасающиеся с внутренним объёмом реактора, выполнены из нержавеющей стали AISI 316; - система охлаждения водяная, проточная с расходом не менее 1 л/мин; - напряжение питания 220В, 50 Гц. Мешалка комплектуется блоком управления, позволяющим задавать необходимые режимы работы посредством панели оператора

Коаксиальный двухвальный ввод вращения (выполнен по соосной схеме). Разработан под конструктив транспортной системы заказчика и обеспечивает передачу вращательных движений от приводов к загрузчику вакуумной камеры, тем самым обеспечивая радиальное и прямолинейное перемещение манипулятора при транспортировке кремниевых пластин из шлюза в технологический модуль. Применим в кластерных установках. Характеристики МЖУ: -диаметр центрального вала (атмосфера/вакуум): 12/15мм; -диаметр радиального вала (атмосфера/вакуум): 48/34мм; -предельное давление в технологическом и шлюзовом модулях: 1*10-6Па; -угловая скорость вращения центрального и радиального валов 20 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Является нижним электродом установки плазмохимической обработки пластин в плазме ВЧ-тлеющего разряда 08ПХО-100Т-005. Выполнен с двумя полыми каналами для водяного охлаждения. Материал токоввода - медь М1.

Характеристики МЖУ: - частота вращения 500 об/мин; - температура эксплуатации, до 80 0С; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па.

Сконструировано для вращения заслонкой в вакуумной камере реактора магнетронного напыления тонких плёнок. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает лёгкий поворот заслонки сохраняя высокую степень герметичности соединения. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Герметизатор ТВРМ.305319.003 служит для уплотнения электродвигателей ВАСО5Л-14 У1/ХЛ1 со стороны выходного конца вала с целью защиты внутренних частей электродвигателя от попадания в них влаги, паров и механических частиц во время эксплуатации, при стояночном режиме или при хранении на складе. МЖГ устанавливается вместо штатной крышки подшипника электродвигателя. Технические характеристики герметизатора: Масса изделия 7,8 кг; Габариты изделия Ø270*33,8 мм; Посадочный диаметр изделия 180(-0,025) мм; Диаметр уплотняемого вала двигателя 100(-0,02/-0,05) мм.