Аперон

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6Па; -диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм; -диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм; -угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Магнитожидкостный привод вращения АП 08.400.00 разработан и изготовлен в соответствии с техническими требованиями заказчика. Предназначен для вращения карусели в вакуумной камере технологического оборудования. Вращение привода обеспечивает бесколлекторный мотор-редуктор IG-80WGM-i117 под управлением блока BLSD-20. Применение в приводе магнитожидкостного уплотнения позволяет значительно увеличить ресурс Изделия, обеспечить высокую степень вакуума в рабочей камере и минимальное натекание. Характеристики магнитожидкостного привода: -масса 3,0 кг -габариты привода 305*80*80 мм -габариты блока управления 168*98*26 мм -посадочный диаметр привода 45 мм -диаметр вала привода 16 мм -напряжение питания постоянное 24 В -номинальный ток 3,3 А -частота вращения вала до 21,3 об/мин -крутящий момент 125 кг*см -предельный вакуум, удерживаемый приводом 1*10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с -герметизируемая среда: разреженный воздух, неагрессивные газы

Уплотнение АП 11.000.00-хх разработано для применения в установках выращивания монокристаллического сапфира. Вал уплотнения выполнен в виде фланцевого соединения KF25. Корпус уплотнения имеет два соединительных исполнения: - АП 11.000.00 соединительный фланец KF40; - АП 11.000.00-01 резьбовое соединение M39*1,5 Характеристики: -температура эксплуатации до 80оC; -остаточное давление в камере 10-6 Па; -скорость вращения вала: не более 100 об/мин; -осевая нагрузка: не более 2 кН. В зависимости от конструктивных особенностей вакуумных установок выращивания искусственных кристаллов магнитожидкостное уплотнение может иметь другие исполнения (по согласованию с Заказчиком).

Предназначен для ручного управления положением заслонки визуального наблюдения (открытие/закрытие заслонки окна) за процессом в реакторе. С конструктивной точки зрения представляет собой нестандартное магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), на валу которого размещена ручка управления вращением, а корпус выполнен с переходом во фланец стандарта KF16. Основные характеристики магнитожидкостного привода: -предельное давление в реакторе (вакуумной камере) 1*10-6Па; -диаметр вала для крепления заслонки М5; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Разработан для передачи вращения от двигателя на планетарную карусель вакуумной напылительной установки. Поскольку во время напыления карусель с подложкодержателями нагревается до значительных температур - корпус ввода вращения выполнен водоохлаждаемым, способ разграничения сред - магнитожидкостное уплотнение. Характеристики охлаждаемого ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением: - частота вращения 5 об/мин; - температура в области МЖУ, 120 0С; - радиальная нагрузка на вал, до 1000Н; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па. - технологические газы в камере: азот, аргон, кислород, водород.

Мы изготавливаем магнитожидкостные уплотнения (МЖУ), являющиеся аналогами известных зарубежных производителей, а также разрабатываем оригинальные вводы вращения по техническим требованиям заказчика. Наши основные заказчики – производители вакуумного технологического оборудования электронной промышленности. Магнитожидкостное уплотнение (МЖУ, ввод вращения) является подвижным механическим узлом, в котором уплотняющим элементом служит магнитная жидкость, удерживаемая в системе канавок с помощью постоянных магнитов и обеспечивающая высокий уровень герметичности. Надёжность вводов вращения обусловлена присутствием жидкости в уплотняющих зазорах между подвижными и неподвижными деталями и, как следствие, крайне низким трением. А расположенные в корпусе магнитожидкостного уплотнения подшипники принимают на себя осевую и радиальную нагрузки от вала. Преимущества МЖУ: - не требуют обслуживания и расходных материалов; - обеспечивают длительный ресурс (не менее 10 лет); - низкий момент сопротивления вращению (в 5 раз ниже, чем классическое сальниковое); - не выделяют продуктов износа; - высокая степень герметизации. Глубина вакуума не хуже 10-6 Па. Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/c (для справки: натекание по гелию сальникового уплотнения 10-8 м3Па/c); - самовосстановление при прорыве; - радиационная стойкость; - бактериологическая стерильность.

Разработана для аппаратуры высокого давления, является частью полимеризационного аппарата и предназначена для перемешивания реагирующих веществ в автоклаве. Принцип работы мешалки магнитной основан на передаче крутящего момента через полностью герметичное соединение посредством магнитного поля. Элементы корпуса мешалки и крыльчатка выполнены из нержавеющей стали. Электродвигатель привода мешалки магнитной рассчитан на продолжительный режим работы. Мешалка магнитная с приводом состоит из муфты магнитной, соединённой с электродвигателем посредством кронштейна через муфту мембранную. Рабочим элементом мешалки является крыльчатка, непосредственно устанавливающаяся резьбовым способом в муфту магнитную. Управление электродвигателем осуществляется блоком управления. Характеристики мешалки магнитной с приводом АП 12.000.00: -рабочая температура крыльчатки: 20°С - 350°С; -макс. рабочее давление муфты магнитной 20МПа; -тип крыльчатки – лопастная; -номинальная скорость перемешивания 0 – 2000 об/мин; -максимальная скорость двигателя 3000 об/мин; -тип электродвигателя – бесколлекторный; -напряжение питания электродвигателя 48В постоянного тока; -макс. нагрузка на вал 20 – 90 Н*см; -макс. выходной ток блока управления двигателем 20А; -среда автоклава: нефтеполимерная смола, органический растворитель, водород Система управления приводом мешалки обеспечивает защиту от перенапряжения, защиту от короткого замыкания с последующим автоматическим восстановлением, защиту от перегрузки по току 150-200%. Управление приводом мешалки магнитной может задаваться в ручном режиме и предусматривает управление скоростью, ускорением, торможением и направлением вращения электродвигателя. Также, управление приводом мешалки может осуществляться в автоматическом режиме по интерфейсу RS-485. В соответствии с техническими требованиями Заказчика характеристики мешалки магнитной могут быть изменены.

Материал деталей ввода вращения - нержавеющая сталь. Характеристики: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -температурный режим эксплуатации ввода: до 80 0С; -частота вращения вала, до 1500 об/мин.

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования. Герметичность подвижного соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами МЖУ АП 09.200.00. Характеристики МЖУ: -масса 1,9 кг -габариты Ø114*134мм -диаметр вала 20 мм -частота вращения вала: до 300 об/мин -температурный диапазон эксплуатации: от 0 до +50 ˚С -предельный вакуум 10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. Вал вакуумного ввода выполнен со шпоночными пазами.

Миксер магнитный (магнитная мешалка) разработан для применения в составе химического реактора и служит для перемешивания рабочей жидкости с концентрацией соляной кислоты до 25%. Конструкция миксера построена по принципу магнитной муфты - вращение передаётся посредством магнитного поля, а в качестве разграничителя сред используется металлическая мембрана из нержавеющей стали, что полностью исключает взаимное проникновение двух сред: реактора и внешней. Характеристики: Максимальный передающий момент 10 н*м; Мощность двигателя 0.55 кВт, исполнение химстойкое; Частота вращения 1500 об/мин; Напряжение питания 220 В; Рабочим объём реактора 150 л; Расположение магнитного миксера – вертикальное; Максимальная температура рабочей жидкости + 45 0С; Вал мешалки металлический, с покрытием ПВХ; Материал лопастей мешалки (крыльчатки) полипропилен. Исполнение магнитного миксера и лопастей может изменяться «под задачи» заказчика.

Ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для эксплуатации в составе вакуумного электронно-лучевого оборудования. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6 Па; -скорость вращения вала не более 300 об/мин; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -температура эксплуатации до 80о С. Герметизация вала ввода вращения осуществляется за счёт магнитожидкостного уплотнения, расположенного внутри корпуса ввода.

Разработан для применения в реакторах специального технологического оборудования (вакуумных установках) и предназначен для передачи вращения в активную зону реактора при сохранении высокой степени герметизации подвижного соединения. Ввод вращения выполнен под быстроразъемные соединения (со стороны корпуса KF40, со стороны вала KF25). Вал выполнен полым, с внутренним диаметром 25 мм, для вывода из высоковакуумного реактора электрических связей. Технические характеристики вакуумного ввода вращения: - температура эксплуатации до 800 С; - остаточное давление 1*10-8 Па; - избыточное давление до 0,1 МПа; - скорость вращения вала не более 60 об/мин. Возможны различные варианты исполнения ввода вращения под технические требования Заказчика.