Aperon

设计用作真空系统旋转台的一部分，用于产品上金属膜的电弧溅射。在溅射过程中，产品会受到高温加热，这就需要从旋转台上去除热量。为此，在 MZhU AP 10.000.00 中安装了一个冷却轴。 MZhU 的安装方式为法兰安装。材料为不锈钢。 磁流体密封的特点： 产品重量 2.6 千克 产品尺寸 Ø110*83 mm 产品轴内径 30 毫米 轴旋转频率 300 rpm 工作温度范围 0 至 +60 ˚C 产品保持的极限真空 10-5 Pa 氦气流量不超过 10-12m3Pa/s。 密封介质：稀薄空气、非腐蚀性气体

AP 11.000.00-xx 型密封件设计用于单晶蓝宝石生长系统。 密封轴设计为 KF25 法兰连接。 密封外壳有两种连接方式： - AP 11.000.00 连接法兰为 KF40； - AP 11.000.00-01 螺纹连接 M39*1.5。 特点 -工作温度最高可达 80oC； -腔体中的残余压力为 10-6 Pa； -轴转速：不超过 100 rpm； -轴向载荷：不超过 2 kN。 根据人工晶体生长真空设备的设计特点，磁流体密封还可以有其他型号（与客户商定）。

磁流体密封进入磁控溅射装置的真空室。 它为装有溅射板的转盘提供旋转传输。 磁流体密封装置的设计考虑到了现有真空设备的设计特点，可替代唇式密封，从而减少进入工作腔的流量，延长密封装置的使用寿命。 特点 -水闸腔内的压力不超过 1*10-5 Pa； -从气闸室一侧看，IZHU 的轴直径为 10/17mm，槽直径为 11mm； -从 "大气 "一侧看，IZHU 轴的直径为 16mm； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。

磁力搅拌器专为高压设备而设计，是聚合设备的一部分，用于搅拌高压釜中的反应物质。 磁力搅拌器的工作原理是利用磁场通过全密封连接传递扭矩。搅拌器主体元件和叶轮由不锈钢制成。磁力搅拌器驱动装置的电机设计用于连续运行。 带驱动装置的磁力搅拌器由一个磁力耦合器组成，通过膜片耦合器以支架的方式与电动马达相连。搅拌器的工作元件是叶轮，通过螺纹直接安装在磁力耦合器上。电机由控制装置控制。 带驱动装置 AP 12.000.00 的磁力搅拌器的特点： -叶轮工作温度：20°C - 350°C； -磁力耦合器的最大工作压力为 20MPa； -叶轮类型：叶片； -额定搅拌速度 0 - 2000 rpm； -电机最高转速 3000 r/min； -电机类型 - 无集电极； - 电机电源电压 48V DC； -轴上最大负载 20 - 90 N*cm； -电机控制单元最大输出电流 20A； -高压釜环境：石油聚合物树脂、有机溶剂、氢气 。 搅拌器驱动控制系统提供过压保护、短路保护（随后自动恢复）和 150-200% 的过流保护。 磁力搅拌器驱动控制可设置为手动模式，提供速度、加速度、制动和电机旋转方向控制。此外，还可通过 RS-485 接口对搅拌器驱动装置进行自动控制。 可根据客户的技术要求改变磁力搅拌器的特性。

目的：从轴输出端的一侧密封 2ASVO、3ASVO 电机，以保护电机内部零件在运行、停车或存放在仓库期间免受湿气、蒸汽和机械颗粒的侵入。 磁流体密封器为圆柱形筒状，可安装在电动机轴承防护罩的盖板上（盖板有预孔，与 MZH 的外径相匹配）。 MZhG K-140 的主要技术数据： 产品重量 2.8 千克 产品尺寸 Ø200*49.2 mm 产品座面直径 175 mm 产品内径 140.80 毫米 密封电机轴直径 140 毫米 密封介质：潮湿空气、飞溅物、灰尘 保持压差最高达 25 kPa 密封轴转速最高 250 rpm 轴承单元防护等级，GOST IEC 60034-5 IP55 气候执行标准，GOST 15150 U1、T1（所有气候模式）。 使用密封剂可使电机寿命延长 1.5 倍以上。

磁液旋转驱动器 AP 08.400.00 是根据客户的技术要求设计和制造的。它设计用于旋转技术设备真空室中的转盘。驱动旋转由 IG-80WGM-i117 无集电极电机减速器提供，由 BLSD-20 装置控制。 在驱动装置中使用磁流体密封可显著提高产品寿命，在工作室内提供高真空度，并将泄漏降至最低。 磁流体驱动装置的特点 -重量 3.0 千克 -驱动器尺寸 305*80*80 毫米 -控制装置尺寸 168*98*26 毫米 -驱动装置直径 45 毫米 -驱动轴直径 16 毫米 -电源电压恒定为 24 V -额定电流 3.3 A -轴速最高 21.3 转/分钟 -扭矩 125 公斤*厘米 -驱动装置保持的有限真空度为 1*10-5 Pa

专为在真空设备和具有临界温度负荷的气候室中运行而设计。旋转输入设计为冷却磁流体密封。MZHU 的外壳由双层壁制成，允许冷却剂（水）在产品中循环，从而保持密封内部允许的温度平衡。 磁流体冷却旋转输入的特点： -反应腔内的持续压力不低于 10-6 Pa。 -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s。 -输入操作温度模式：-70 +150 0C。 -轴旋转频率，最高 2000 rpm。

设计用作介质压力差分高速动态工作台组件的一部分。它包括一个安装在客户产品非磁性外壳中的抛光磁性静环和一个安装在轴上的带石墨插件的动环。 机械磁性密封 AP 42.000.00 的技术特点 - 最大转速 34000 rpm； - 通过机械密封的氦气流量不超过 1.8*10-8 m3Pa/s； - 密封介质为 "真空-大气"。 机械磁性密封的显著特点是微型化和耐高转速。机械密封两部分的物理压紧是通过静态密封环产生的磁场来实现的。磁场对其他结构元件的影响降到最低，消除了任何明显的杂散磁场。在距离磁性静环 13 毫米处测量时，耗散磁场的磁感应强度小于 0.3 mTl。磁性面密封件的作用是在一个方向上（从动环的位置一侧）控制压力。在相反方向（静环侧），密封件可承受最大 100 mmHg（0.13 atm）的超压。 磁性机械密封的典型工作温度范围为 -55°C 至 +230°C。 磁性密封件不仅可以通过压力来区分体积，还可用于保护旋转组件免受不利环境因素的影响。 机械磁性密封的应用领域 - 涡轮机的高速轴（轮轴）； - 航空、船舶和铁路设备的旋转装置； - 动态测试台； - 仪器仪表中的旋转元件。 我们接受根据客户规格开发和制造机械磁密封的订单。

用于旋转磁控溅射装置真空室中的挡板。 驱动装置是一个整体，包括磁性流体密封（MFL）、步进电机 FL57ST76-1506A、精密齿轮箱 EL060 1/50 FM 和弹性离合器 SJCA-40C-RD 16*16。 电机和齿轮箱的串联可确保襟翼位置的精度达到 2.16 分。 使用 SJCA 驱动器可确保产品寿命长（长达 10 年），无需维护，真空度高（高达 1*10-6Pa），流量低（氦气不超过 10-12 m3Pa/s）。 安装风门的轴直径为 14 毫米。

磁力混合器（磁力搅拌器）设计用作化学反应器的一部分，用于混合盐酸浓度高达 25% 的工作液。 搅拌器的设计基于磁耦合原理--通过磁场传递旋转，并使用不锈钢制成的金属膜作为介质隔离器，完全避免了反应器和外部两种介质的相互渗透。 特点 最大传输扭矩 10 n*m； 电机功率 0.55 kW，耐化学腐蚀型； 旋转频率 1500 rpm； 电源电压 220 伏； 反应器工作容积 150 升； 磁力搅拌器的位置 - 垂直； 工作液最高温度 + 45 0C； 搅拌轴为金属，涂有 PVC 涂层； 搅拌器叶片（叶轮）材料为聚丙烯。 磁力搅拌器和叶片的设计可 "根据客户的任务 "进行更改。

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。

其设计目的是在真空电弧镀膜过程中旋转真空室中的产品。 为了消除溅射过程中产生的热负荷传递，驱动装置采用了轴冷却系统。 从结构上看，旋转驱动装置是一个整体，包括非标准磁流体密封、冷却系统、41 型 IG-80WGM 减速电机，电源电压为 24V，传动比为 1/210。齿轮减速机由 BLSD-20 装置控制。为了精确定位轴的位置，驱动装置配备了 BS5-V2M 光电传感器。 磁流体密封提供了高真空度，延长了传动装置的使用寿命。 主要特点 -真空室的极限压力为 1*10-6Pa； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s； -用于固定平台的轴直径为 25mm。