Аперон

Разработано для применения в составе карусели вакуумной установки дугового напыления металлических плёнок на изделия. В процессе напыления изделие подвергается высокотемпературному нагреву, вследствие чего возникает необходимость отвода тепла от карусели. Для этой цели применяется охлаждаемый вал, устанавливаемый в МЖУ АП 10.000.00. Крепление МЖУ фланцевое. Материал - нержавеющая сталь. Характеристики магнитожидкостного уплотнения: Масса изделия 2,6 кг Габариты изделия Ø110*83 мм Внутренний диаметр вала изделия 30 мм Частота вращения вала 300 об/мин Температурный диапазон эксплуатации от 0 до +60 ˚С Предельный вакуум, удерживаемый изделием 10-5 Па Натекание по гелию не более 10-12м3Па/с Герметизируемая среда: разреженный воздух, неагрессивные газы

Разработан для применения в технологическом оборудовании электронной и химической промышленности. Предназначен для передачи вращения во внутрь вакуумных реакторов (камер) и реакторов с избыточным давлением до 1,1 атм с неагрессивными газами. Частота вращения вала – до 1500 об/мин, натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с, остаточное давление в реакторе не хуже 10-5 Па (избыточное давление – до 1,1*105 Па), рабочая температура до 80 0С, корпус и вал выполнены из нержавеющей стали, способ крепления привода/нагрузки к валу ввода вращения - шпоночное. Срок службы ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением ТВРМ.305319.005 составляет 10 лет. '

Магнитожидкостное уплотнение АП 03.000.00 является отечественным аналогом магнитожидкостного уплотнения KLFDMTM06M12 компании Kurt J. Lesker (США) и предназначен для передачи вращения в вакуумную среду. Корпус МЖУ имеет резьбовой хвостовик, посредством которого изделие крепится к вакуумному узлу через отверстие. Фиксация МЖУ осуществляется гайкой (входит в состав комплекта) со стороны высоковакуумной части узла. Герметичность монтажа магнитожидкостного уплотнения обеспечивается уплотнительным кольцом, установленным в торцевой канавке МЖУ. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. -передачу вращения со скоростями до 20000 об/мин.

Ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для эксплуатации в составе вакуумного электронно-лучевого оборудования. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6 Па; -скорость вращения вала не более 300 об/мин; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -температура эксплуатации до 80о С. Герметизация вала ввода вращения осуществляется за счёт магнитожидкостного уплотнения, расположенного внутри корпуса ввода.

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования. Герметичность подвижного соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами МЖУ АП 09.200.00. Характеристики МЖУ: -масса 1,9 кг -габариты Ø114*134мм -диаметр вала 20 мм -частота вращения вала: до 300 об/мин -температурный диапазон эксплуатации: от 0 до +50 ˚С -предельный вакуум 10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. Вал вакуумного ввода выполнен со шпоночными пазами.

Ввод вакуумный электрический 19-контактный интерфейсный, для измерительных систем на фланце KF40. Является герметичной конструкцией и применяется в составе вакуумного оборудования. Характеристики: - сопротивление контактов, 15 мОм; - сопротивление изоляции, 5000 МОм; - температура эксплуатации, от -60°C до +85°C; - минимальное давление, 1,34*10-10 Па. Подключение к вакуумному разъёму осуществляется розеткой 2РМТ24КПН19Г1В1. Возможно изготовление электрических вакуумных разъёмов с другой схемой расположения выводов и системой крепления к вакуумному оборудованию.

Применяется на электродвигателях с целью защиты подшипников и других внутренних деталей двигателя от воздействия влаги и пыли, увеличивая его ресурс. Герметизация двигателя осуществляется по вращающемуся валу. В основе принципа действия магнитожидкостного герметизатора лежит уникальное свойство ферромагнитной жидкости (компонент герметизатора) удерживаться в зазоре между подвижным и неподвижным узлом при помощи магнитного поля. Магнитожидкостный герметизатор выполняется в габаритах крышки подшипника электродвигателя и устанавливается непосредственно на него. Для обсуждения возможности применения и изготовления герметизаторов для Вашего оборудования просьба направить запрос с указанием конкретных условий эксплуатации электродвигателя и его модель.

Миксер магнитный (магнитная мешалка) разработан для применения в составе химического реактора и служит для перемешивания рабочей жидкости с концентрацией соляной кислоты до 25%. Конструкция миксера построена по принципу магнитной муфты - вращение передаётся посредством магнитного поля, а в качестве разграничителя сред используется металлическая мембрана из нержавеющей стали, что полностью исключает взаимное проникновение двух сред: реактора и внешней. Характеристики: Максимальный передающий момент 10 н*м; Мощность двигателя 0.55 кВт, исполнение химстойкое; Частота вращения 1500 об/мин; Напряжение питания 220 В; Рабочим объём реактора 150 л; Расположение магнитного миксера – вертикальное; Максимальная температура рабочей жидкости + 45 0С; Вал мешалки металлический, с покрытием ПВХ; Материал лопастей мешалки (крыльчатки) полипропилен. Исполнение магнитного миксера и лопастей может изменяться «под задачи» заказчика.

Уплотнение АП 11.000.00-хх разработано для применения в установках выращивания монокристаллического сапфира. Вал уплотнения выполнен в виде фланцевого соединения KF25. Корпус уплотнения имеет два соединительных исполнения: - АП 11.000.00 соединительный фланец KF40; - АП 11.000.00-01 резьбовое соединение M39*1,5 Характеристики: -температура эксплуатации до 80оC; -остаточное давление в камере 10-6 Па; -скорость вращения вала: не более 100 об/мин; -осевая нагрузка: не более 2 кН. В зависимости от конструктивных особенностей вакуумных установок выращивания искусственных кристаллов магнитожидкостное уплотнение может иметь другие исполнения (по согласованию с Заказчиком).

Пример лодочки кварцевой (кварцевой кассеты) для пластин Ø76мм выполненной по документации Заказчика. Лодочка предназначена для технологических процессов в микроэлектронике, проводящихся при высоких температурах (450-1200˚С). Для загрузки в высокотемпературные печи.

Токоввод вакуумный нагревостойкий 12-пиновый, со специальной оконцовкой пинов, на фланце Ду160 (ISO160), 1 кВт, 150 А. Материалы: - сталь нержавеющая 12Х18Н10Т - сплав 29НК - вакуумноплотная корундовая керамика. Возможно изготовление токовводов в любых исполнениях по техническим требованиям заказчика.

Предназначен для ручного управления положением заслонки визуального наблюдения (открытие/закрытие заслонки окна) за процессом в реакторе. С конструктивной точки зрения представляет собой нестандартное магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), на валу которого размещена ручка управления вращением, а корпус выполнен с переходом во фланец стандарта KF16. Основные характеристики магнитожидкостного привода: -предельное давление в реакторе (вакуумной камере) 1*10-6Па; -диаметр вала для крепления заслонки М5; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.