Аперон

Разработан для применения на Установке односторонней контактной сварки AVIO MCW-750 PG вместо штатных держателей, что позволяет использовать отечественные электроды ЭК1, ЭК2, ЭК3 установочным диаметром 3мм (диаметр свариваемой проволоки от 20 мкм).

Изготовлен по техническим требованиям заказчика для применения в составе технологического испытательного стенда имитирующего условия космического вакуума. Ввод вращения имеет два контура магнитожидкостных уплотнений и выполнен с полым валом, что позволяет подавать технологический газ непосредственно в испытываемый образец, закрепленный на валу в условиях вакуума. Конструкция магнитожидкостных уплотнений ввода вращения разработана с учетом требований к высокой частоте вращения вала. Способ крепления ввода вращения к вакуумной камере - фланцевое. Подача технологического газа осуществляется через резьбовой штуцер в корпусе ввода. Характеристики ввода вращения АП 34.000.00: - рабочая частота вращения 6000 об/мин; - максимальная частота вращения (кратковременно, до 5 с) 16000 об/мин; - температура эксплуатации от +15°C до +30°C; - натекание по гелию не более 10-11 м3Па/c.

Предназначен для вращения изделия в вакуумной камере в процессе вакуумно-дугового нанесения покрытий. Для исключения передачи тепловой нагрузки, возникающей во время напыления, в приводе реализовано охлаждение вала. Конструктивно привод вращения представляет собой единый узел, включающий нестандартное магнитожидкостное уплотнение, систему охлаждения, мотор-редуктор IG-80WGM, 41 тип, с напряжением питания 24В и передаточным отношением 1/210. Управление мотор-редуктором осуществляется посредством блока BLSD-20. Для точного позиционирования положения вала в конструкции привода предусмотрен фотодатчик BS5-V2M. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает высокую степень вакуума и длительный ресурс привода. Основные характеристики: -предельное давление в вакуумной камере 1*10-6Па; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с; -диаметр вала для крепления столика 25мм.

Сильфон сварной пластинчатый узла линейного перемещения вакуумного оборудования. Изготовлен для замены вышедшего из строя сильфона импортной вакуумной установки напыления. Принимаем заказы на разработку и изготовление вакуумных сильфонов линейного перемещения.

Разработано для вращения подложкодержателя Установки магнетронного напыления многослойной металлизации. Через полый вал магнитожидкостного уплотнения к подложкодержателю подаётся электропитание, обеспечивающее как нагрев поверхности подложки (полупроводниковой пластины) до 350оС, так и очистку подложек в плазме высокочастотного разряда. Для равномерности нанесения тонких плёнок магнитожидкостное уплотнение обеспечивает вращение подложкодержателя в камере реактора. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.

Ввод вращения (магнитожидкостное уплотнение) АП 50.000.00 для применения в составе вакуумных установок. Характеристики: - частота вращения 1500 об/мин; - температура эксплуатации, до 80 0С; - натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с; - остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па; - перепад давления, выдерживаемый уплотнением, не менее 1,8 атм.

Разработан для применения в реакторах специального технологического оборудования (вакуумных установках) и предназначен для передачи вращения в активную зону реактора при сохранении высокой степени герметизации подвижного соединения. Ввод вращения выполнен под быстроразъемные соединения (со стороны корпуса KF40, со стороны вала KF25). Вал выполнен полым, с внутренним диаметром 25 мм, для вывода из высоковакуумного реактора электрических связей. Технические характеристики вакуумного ввода вращения: - температура эксплуатации до 800 С; - остаточное давление 1*10-8 Па; - избыточное давление до 0,1 МПа; - скорость вращения вала не более 60 об/мин. Возможны различные варианты исполнения ввода вращения под технические требования Заказчика.

Предназначен для эксплуатации в составе вакуумного оборудования и климатических камер с критическими температурными нагрузками. Ввод вращения по конструктивному исполнению является охлаждаемым магнитожидкостным уплотнением. Корпус МЖУ выполнен с двойными стенками, что позволяет осуществлять циркуляцию теплоносителя (воды) через изделие и тем самым поддерживать допустимый температурный баланс внутри уплотнения. Характеристики магнитожидкостного охлаждаемого ввода вращения: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. -температурный режим эксплуатации ввода: -70 +150 0С. -частота вращения вала, до 2000 об/мин.

Предназначено для применения в составе высокоскоростного узла динамического стенда для разграничения сред по давлению. Состоит из отполированного магнитного статического кольца, устанавливаемого в немагнитный корпус изделия заказчика, и динамического кольца с графитовой вставкой, устанавливаемого на валу. Технические характеристики торцевого магнитного уплотнения АП 42.000.00: - максимальная частота вращения 34000 об/мин; - натекание по гелию через торцевое уплотнение, не более 1,8*10-8 м3Па/с; - среда уплотнения «вакуум-атмосфера». Отличительной особенностью торцевых магнитных уплотнений является их миниатюрность и устойчивость к высокой частоте вращения. Физическое прижатие двух частей торцевого уплотнения осуществляется за счет магнитного поля, создаваемого статическим кольцом уплотнения. Влияние магнитного поля на другие элементы конструкции минимально, что исключает любые значительные паразитные поля. Величина магнитной индукции рассеянного поля составляет менее 0,3 мТл при измерении на расстоянии 13 мм от магнитного статического кольца. Торцевые магнитные уплотнения служат для сдерживания давления в одном направлении (со стороны расположения динамического кольца). В обратном направлении (со стороны статического кольца) уплотнения выдерживают избыточное давление не более 100 мм. рт. столба (0,13 атм). Типичные пределы рабочих температур магнитных торцевых уплотнений составляют от -55°C до +230°C. Магнитные уплотнения служат не только для разграничения объемов по давлению, но и применяются для защиты узлов вращения от воздействия негативных факторов внешней среды. Область применения торцевых магнитных уплотнений: - высокоскоростные валы (оси) турбин; - узлы вращения авиационной, судовой и железнодорожной техники; - динамические стенды; - элементы вращения в приборостроении. Мы принимаем заказы на разработку и изготовление торцевых магнитных уплотнений по ТТ заказчиков.

Предназначена для перемешивания растворов щелочи/кислот. Характеристики мешалки ТВРМ.067241.002: Масса изделия: 20,6 кг (мешалка), 8,5 кг (блок управления); Габариты изделия (Д×Ш×В): 1299,5×Ø185 мм (мешалка), 362×139×299 мм (блок управления); Исполнение изделия: вертикальное, в крышку реактора; Посадочный диаметр фланца 120 мм; Максимальный момент: не менее 10 Н*м; Максимальная частота вращения вала: 400 об/мин; Максимальное избыточное давление: 0,6 МПа; Максимальная температура реактора: 80˚С; Среда реактора: кислотно-щелочная; Тип уплотнения изделия к реактору: резиновое уплотнительное кольцо по фланцу; Длина выступающей части штока от фланца: 900 мм; Диаметр штока: 25 мм; Тип крыльчатки по АТК 24.201.17-90: съёмная, тип 07 Ø280мм; Материал основных элементов изделия, контактирующих со средой реактора - 12Х18Н10Т Тип электродвигателя: серводвигатель; Блок управления электродвигателем (пуск/стоп, регулировка частоты вращения и ускорения); Напряжение питания 220 В переменного тока, 50 Гц; Максимальная мощность 800 Вт Степень защиты изделия, ГОСТ IEC 60034-5: IP64 (мешалка), IP20 (блок управления); Внешняя среда эксплуатации изделия: неагрессивная, невзрывоопасная с содержанием проводящей пыли до 10 мг/м3. Возможно изготовление мешалки в других исполнениях, учитывающих требования заказчика.

Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00 (конструкторская документация ТВРМ.305314.001) предназначен для вращения подложкодержателя установки напыления методом вакуумного термического испарения. Особенностью конструкции данного привода является полый вал, внутри которого циркулирует охлаждающая жидкость, таким образом теплоотвод осуществляется непосредственно от торца вала, расположенного в вакуумной части камеры. К торцу вала винтовым соединением крепится подложкодержатель. Реализованное решение позволяет осуществлять эффективный теплоотвод от подложкодержателя, тем самым предупреждая перегрев как самого напыляемого образца, так и вакуумного узла в целом. Герметичность узла вращения обеспечивается встроенным в конструкцию привода магнитожидкостным уплотнением. Характеристики привода вакуумного: Глубина вакуума не хуже 10-6 Па Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/c Частота вращения вала до 100 об/мин Температурный диапазон эксплуатации, 0С: от 5 до 150 Стандарт присоединительного фланца ISO160 Полные характеристики вакуумного охлаждаемого привода по запросу.

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6Па; -диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм; -диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм; -угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.