Установка контроля герметичности для поточных производств УКГ-4П

Решение организации участка контроля герметичности для поточных производств под ключ. Установка УКГ-4П предназначена для контроля герметичности изделий полупроводниковой, радиотехнической, электротехнической и других отраслей промышленности.
При изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем различных типов немаловажным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий процент выхода годной продукции. Одним из этапов технологического процесса изготовления является масс-спектрометрический контроль герметичности. Для решения этих задач НПФ "Прогресс" предлагает варианты технологического оборудования масс-спектрометрического контроля герметичности, адаптированного под задачи производства, позволяющее более эффективно применять метод контроля с минимизацией издержек в обслуживании, временных затрат при эксплуатации.
УКГ-4П представляет собой технологическое оборудование, состоящее из 4 (по согласованию и более) вакуумных камер, высоковакуумного безмасляного поста и масс-спектрометрической части с собственной высоковакуумной откачкой, смонтированных в едином конструктиве в виде моноблока.
Установка позволяет проводить контроль герметичности несколькими способами:
• способ вакуумной камеры;
• способ обдува.