Создан первый прибор по программе Научного приборостроения

В МГТУ им. Н.Э. Баумана разработана линейка бессеточных источников ионов. Устройство предназначено для генерации сильно расходящихся ускоренных пучков ионов в условиях вакуума. Это первая разработка МГТУ им. Н.Э. Баумана, созданная в рамках программы Научного приборостроения.

Государственная программа по развитию отечественного научного приборостроения инициирована Президентом России Владимиром Путиным. В рамках программы планируется разработать и выпускать более 100 типов приборов. МГТУ им. Н.Э. Баумана участвует в программе «Отечественного научного приборостроения» с 2022 года, первый из трёх реализуемых проектов был сдан в августе 2024 года.

К программе присоединились Московский физико-технический институт, Московский государственный технологический университет им. Н.Э. Баумана, Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» и Национальный исследовательский университет «МИЭТ» к 2025 году должны подготовить конструкторскую документацию для производства оборудования. Это приборы, которые позволят российским учёным вести исследования и совершать прорывные открытия в генетике, медицине, фармацевтике, агротехнологии, микроэлектронике и многих других областей.

В рамках данного федерального проекта МГТУ им. Н.Э. Баумана разрабатывает 3 научных прибора, которые найдут применение в важнейших отраслях науки и техники — оптике, биомедицине, вакуумной технике, машиностроительной и химической областях, квантовых вычислениях и микроэлектронике.

Разработанные в МГТУ им. Н.Э. Баумана ионные источники серии «БИИ» призваны полностью заместить импортные аналоги на российских предприятиях радиоэлектронной, микроэлектронной и оптической промышленности. Коллективом НОЦ «Ионно-плазменные технологии» МГТУ им. Н.Э. Баумана созданы четыре модели, рассчитанные на мощности 0,4 кВт, 1,5 кВт, 3,0 кВт и 4,5 кВт, и полный комплект документации для их серийного производства. Механизм ионизации в скрещённых электрическом и магнитном полях позволяет источникам серии «БИИ» работать практически на любом газообразном веществе, включая химически активные. Реализуемые плотности ионного тока до 20 А/м2 и энергии до 300 эВ подходят для применения в технологических процессах ионного травления и ассистирования, а также для тонкой наноразмерной обработки поверхности.

Работы по созданию линейки бессеточных источников ионов начаты в августе 2022 года, до конца года был подготовлен технический проект и рабочая конструкторская документация, а в 2023 году изготовлены опытные образцы ионных источников и проведены предварительные испытания на базе МГТУ им. Н.Э. Баумана. В 2024 году опытные образцы успешно прошли государственные испытания. Устройство будет востребовано предприятиями, работающими в сфере оптики и микроэлектроники, которые занимаются нанесением функциональных покрытий.

Научный коллектив проекта включал 20 человек: конструкторов, разработчиков, испытателей, из которых 8 студентов и 4 аспиранта, а также 30 заводских рабочих и специалистов из других подразделений.

Результаты испытаний устройства были представлены на 28 Всероссийской научной конференции студентов-физиков и молодых учёных (ВНКСФ-28), которая проходила с 1 по 6 апреля 2024 года в Новосибирске.

Источник: https://bmstu.ru/news/sozdan-pervyi-pribor-po-programme-nauchnogo-priborostroeniya