Общество с ограниченной ответственностью "АКТИВНАЯ ФОТОНИКА"

Конструктивно анализатор представляет собой моноблок, в котором находятся: до 4 встроенных источников лазерного излучения, монохроматор, ПЗС-камера, моторизированная оптика для автоматизированного управления спектрометром, модуль калибровки. Возможна комплектование спектрометра оптическим микроскопом с набором объективов, подбираемым под нужды заказчика. Управление производится через персональный компьютер с предустановленным программным обеспечением Nova SPM. Дифракционные решетки до 4 шт. на турели на выбор: 150, 300, 600, 1200, 1800, 2400 штр./ мм Количество: до 5 (4 встроенных + один внешний) Мощность: до 100 мВт Диапазон длин волн: от 400 до 800 нм Поляризация: линейная Профиль пучка: Гауссовский TEM00, одна основная продольная мода (SLM) Размер щели на входе монохроматора: от 0 до 2000 мкм, шаг – 1 мкм Фильтры отсечения линии возбуждения: колесо на 8-позиций, для фильтров Ø 12.5 мм и Ø 25 мм Расширитель пучка оптимизирован для заполнения входного зрачка объектива Калибровочная лампа двухэлементная с полым катодом Детекторы: ПЗС камера, ФЭУ (опция), ЛФД (опция)

Профилометр позволяет проводить диагностику пластин различного диаметра вплоть до 300 мм включительно. Система позиционирования пьезосканера работает с точностью до 25 нм в латеральной плоскости образца. Преимущества и особенности uSTEP 300: - Возможность анализировать образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа - Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 2.7 А - Моторизованный позиционер большого размера позволяет исследовать образцы с диаметром до 300 мм - Точность позиционирования в латеральной плоскости 25 нм - Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ - Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле - Низкая нагрузка на образец весом 0.03 – 10 мг, что позволяет деликатно работать с исследуемыми материалами без повреждения поверхности - Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и перемещением в латеральной плоскости - Для сокращения влияния дрейфа и теплового шума система может быть дополнена термостабилизирующим шкафом