МГТУ им. Н.Э. Баумана

БИИ-10отр – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник снабжён контуром водяного охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 3,0 кВт с током разряда до 10 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с отражателем (end-Hall) БИИ-10отр характеризуется повышенными токовыми и энергетическими параметрами ионного пучка. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.

БИИ-5СО – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник снабжён контуром водяного охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 1,5 кВт с током разряда до 5 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с анодным потенциалом задней стенки разрядной камеры БИИ-5СО прост в обслуживании и характеризуется сниженной эрозией рабочих поверхностей. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.

БИИ-15отр – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник снабжён контуром водяного охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 4,5 кВт с током разряда до 15 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с отражателем (end-Hall) БИИ-15отр характеризуется повышенными токовыми и энергетическими параметрами ионного пучка. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.

БИИ-5БО – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник не имеет контура охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 0,4 кВт с током разряда до 5 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с отражателем (end-Hall) БИИ-5БО характеризуется повышенными токовыми и энергетическими параметрами ионного пучка. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.