带磁流体密封的冷却型旋转驱动装置 AP 41.000.00
带磁流体密封的冷却旋转驱动器 AP 41.000.00(设计文件 TVRM.305314.001)设计用于旋转真空热蒸发溅射装置的基片支架。
该驱动装置的设计特点是采用空心轴,冷却液在轴内循环,因此散热直接从位于真空室真空部分的轴端进行。基片支架通过螺钉连接到轴端。这种解决方案可以有效地从基片支架散热,从而防止溅射样品和整个真空装置过热。驱动设计中内置的磁流体密封确保了旋转装置的密封性。
真空驱动装置的特点
真空深度不低于 10-6 Pa
氦气流量不大于 10-12 m3Pa/c
轴旋转频率高达 100 rpm
工作温度范围(0С):5 至 150 °C
连接法兰标准 ISO160
真空冷却执行器的全部规格可根据要求提供。
生产于: 莫斯科, 泽列诺格勒