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旋转执行器 APR-08-200

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旋转执行器 APR-08-200
公司:
Aperon
原产地:
莫斯科
用途:
用于旋转磁控溅射装置真空室中的挡板。

驱动装置是一个整体,包括磁性流体密封(MFL)、步进电机 FL57ST76-1506A、精密齿轮箱 EL060 1/50 FM 和弹性离合器 SJCA-40C-RD 16*16。

电机和齿轮箱的串联可确保襟翼位置的精度达到 2.16 分。

使用 SJCA 驱动器可确保产品寿命长(长达 10 年),无需维护,真空度高(高达 1*10-6Pa),流量低(氦气不超过 10-12 m3Pa/s)。
安装风门的轴直径为 14 毫米。
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