其设计目的是在真空电弧镀膜过程中旋转真空室中的产品。
为了消除溅射过程中产生的热负荷传递,驱动装置采用了轴冷却系统。
从结构上看,旋转驱动装置是一个整体,包括非标准磁流体密封、冷却系统、41 型 IG-80WGM 减速电机,电源电压为 24V,传动比为 1/210。齿轮减速机由 BLSD-20 装置控制。为了精确定位轴的位置,驱动装置配备了 BS5-V2M 光电传感器。
磁流体密封提供了高真空度,延长了传动装置的使用寿命。
主要特点
-真空室的极限压力为 1*10-6Pa;
-氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s;
-用于固定平台的轴直径为 25mm。