设备

技术规格: 输入电压，最高可达2.5v ADC位深度，二进制位 24 速度，mks 10 整体尺寸，mm，没有更多 110x50x25 重量，公斤，不超过0.1

具有电流输出的振动速度传感器 DVST-2 旨在将物体振动速度的均方根值转换为标准的 4-20 mA 电流信号。

ZVPlE-630快门由一个带有连接法兰的外壳、一个快门机构、一个唇形密封件组成，以确保驱动元件、盖和电驱动的紧密性。 快门机构由滑架、上翻板和下翻板组成，它们通过弹簧和球拉在一起。 滑架沿轴承座导轨移动。 ZVPlE-630快门通过电动驱动和手动使用飞轮打开和关闭。 要切换到手动控制模式，电驱动器上有一个开关装置。 手动驱动器用于调节和调节快门。 ZVPlE-630阀门被制造在气候版本根据GOST15150-69UHL和关于安置类别4

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：1.4 最大工作压力，MPa：1.6 工作体积，毫升：180 起重能力m3/h（Kv）：0.22 工作温度范围，°C：10 至 120 高度取决于配置，毫米：232 气缸宽度/包括阀门的宽度，毫米：57/108。

性能说明: 焦点规模，mm 0,3；2,0 功率，kW 20；40 阳极转速，RPM 3000 靶材径，mm 70 靶材角17度 靶材热容量，kJ 100 Max电压 kV 125 白炽参数（Max Uн,В; Max Iн,А）4.0；13,0; 4,5-5,5 Max烧瓶直径，mm 108