Магнитожидкостное уплотнение МЖУ АП 08.400.01
Магнитожидкостное уплотнение в вакуумную камеру установки магнетронного напыления.
Обеспечивает передачу вращения на карусель с напыляемыми пластинами.
МЖУ разработано с учётом конструктивных особенностей существующей вакуумной установки в качестве замены манжетного уплотнения, что позволило снизить натекание в рабочую камеру и увеличить ресурс уплотнения.
Характеристики:
-давление в шлюзовой камере не более 1*10-5 Па;
-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 10/17мм со шлицем 11мм;
-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 16мм;
-натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.
Произведено в: Москва, Зеленоград