Магнитожидкостные уплотнения

Магнитожидкостное уплотнение в вакуумную камеру установки магнетронного напыления. Обеспечивает передачу вращения на карусель с напыляемыми пластинами. МЖУ разработано с учётом конструктивных особенностей существующей вакуумной установки в качестве замены манжетного уплотнения, что позволило снизить натекание в рабочую камеру и увеличить ресурс уплотнения. Характеристики: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-5 Па; -диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 10/17мм со шлицем 11мм; -диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 16мм; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Узел вращения разработан и изготовлен согласно техническим требованиям заказчика. Конструктивно выполнен в виде картриджа, устанавливается на вакуумном оборудовании для передачи вращения в реактор. Основные характеристики магнитожидкостного уплотнения: -предельное давление в реакторе 1*10-6Па; -диаметр вала, герметизируемого МЖУ 24мм; -диаметр МЖУ 63мм; -угловая скорость вращения вала не более 35 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. Уплотнение МЖУ к реактору осуществляется по торцу.

Тип крепления (монтажа) – картридж. Устанавливаются на вводы вращения. Модельный ряд уплотнений (характеризуется диаметром уплотняемого вала): - APR-MHC10 для вала Ø10мм - APR-MHC20 для вала Ø20мм - APR-MHC25 для вала Ø25мм - APR-MHC30 для вала Ø30мм - APR-MHC40 для вала Ø40мм - APR-MHC50 для вала Ø50мм - APR-MHC75 для вала Ø75мм Давление не хуже 10-6 Па; Натекание по гелию не более 10-12 м3 Па/c. Уплотнения APR-MHC являются отечественными аналогами магнитожидкостных уплотнений KLFDMHC10, KLFDMHC20, KLFDMHC25, KLFDMHC30, KLFDMHC40, KLFDMHC50, KLFDMHC75 соответственно, и HTL-010-CN, HTL-020-CN, HTL-025-CN, HTL-030-CN, HTL-040-CN, HTL-050-CN, HTL-075 соответственно. Таблица габаритных и посадочных размеров в файле. Магнитожидкостные уплотнения (МЖУ) обладают лучшими характеристиками по сравнению с классическими манжетными (сальниковыми), поскольку роль уплотняющего элемента выполняет ферромагнитная жидкость. МЖУ не требуют обслуживания, имеют повышенный ресурс (до 15 лет), минимальное натекание. Применяются в условиях, где требуется создать сверхвысокий вакуум.

Магнитожидкостное уплотнение АП 03.000.00 является отечественным аналогом магнитожидкостного уплотнения KLFDMTM06M12 компании Kurt J. Lesker (США) и предназначен для передачи вращения в вакуумную среду. Корпус МЖУ имеет резьбовой хвостовик, посредством которого изделие крепится к вакуумному узлу через отверстие. Фиксация МЖУ осуществляется гайкой (входит в состав комплекта) со стороны высоковакуумной части узла. Герметичность монтажа магнитожидкостного уплотнения обеспечивается уплотнительным кольцом, установленным в торцевой канавке МЖУ. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает: -остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. -передачу вращения со скоростями до 20000 об/мин.

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону. Основные характеристики МЖУ: -давление в шлюзовой камере не более 1*10-6Па; -диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм; -диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм; -угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Уплотнение АП 11.000.00-хх разработано для применения в установках выращивания монокристаллического сапфира. Вал уплотнения выполнен в виде фланцевого соединения KF25. Корпус уплотнения имеет два соединительных исполнения: - АП 11.000.00 соединительный фланец KF40; - АП 11.000.00-01 резьбовое соединение M39*1,5 Характеристики: -температура эксплуатации до 80оC; -остаточное давление в камере 10-6 Па; -скорость вращения вала: не более 100 об/мин; -осевая нагрузка: не более 2 кН. В зависимости от конструктивных особенностей вакуумных установок выращивания искусственных кристаллов магнитожидкостное уплотнение может иметь другие исполнения (по согласованию с Заказчиком).

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования. Герметичность подвижного соединения обеспечивается магнитной жидкостью, удерживаемой магнитным полем в зазоре между валом и полюсными кольцами МЖУ АП 09.200.00. Характеристики МЖУ: -масса 1,9 кг -габариты Ø114*134мм -диаметр вала 20 мм -частота вращения вала: до 300 об/мин -температурный диапазон эксплуатации: от 0 до +50 ˚С -предельный вакуум 10-5 Па -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. Вал вакуумного ввода выполнен со шпоночными пазами.

Разработано для вращения подложкодержателя Установки магнетронного напыления многослойной металлизации. Через полый вал магнитожидкостного уплотнения к подложкодержателю подаётся электропитание, обеспечивающее как нагрев поверхности подложки (полупроводниковой пластины) до 350оС, так и очистку подложек в плазме высокочастотного разряда. Для равномерности нанесения тонких плёнок магнитожидкостное уплотнение обеспечивает вращение подложкодержателя в камере реактора. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.

Предназначено для применения в составе высокоскоростного узла динамического стенда для разграничения сред по давлению. Состоит из отполированного магнитного статического кольца, устанавливаемого в немагнитный корпус изделия заказчика, и динамического кольца с графитовой вставкой, устанавливаемого на валу. Технические характеристики торцевого магнитного уплотнения АП 42.000.00: - максимальная частота вращения 34000 об/мин; - натекание по гелию через торцевое уплотнение, не более 1,8*10-8 м3Па/с; - среда уплотнения «вакуум-атмосфера». Отличительной особенностью торцевых магнитных уплотнений является их миниатюрность и устойчивость к высокой частоте вращения. Физическое прижатие двух частей торцевого уплотнения осуществляется за счет магнитного поля, создаваемого статическим кольцом уплотнения. Влияние магнитного поля на другие элементы конструкции минимально, что исключает любые значительные паразитные поля. Величина магнитной индукции рассеянного поля составляет менее 0,3 мТл при измерении на расстоянии 13 мм от магнитного статического кольца. Торцевые магнитные уплотнения служат для сдерживания давления в одном направлении (со стороны расположения динамического кольца). В обратном направлении (со стороны статического кольца) уплотнения выдерживают избыточное давление не более 100 мм. рт. столба (0,13 атм). Типичные пределы рабочих температур магнитных торцевых уплотнений составляют от -55°C до +230°C. Магнитные уплотнения служат не только для разграничения объемов по давлению, но и применяются для защиты узлов вращения от воздействия негативных факторов внешней среды. Область применения торцевых магнитных уплотнений: - высокоскоростные валы (оси) турбин; - узлы вращения авиационной, судовой и железнодорожной техники; - динамические стенды; - элементы вращения в приборостроении. Мы принимаем заказы на разработку и изготовление торцевых магнитных уплотнений по ТТ заказчиков.

Сконструировано для вращения заслонкой в вакуумной камере реактора магнетронного напыления тонких плёнок. Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает лёгкий поворот заслонки сохраняя высокую степень герметичности соединения. Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па. Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Коаксиальный двухвальный ввод вращения (выполнен по соосной схеме). Разработан под конструктив транспортной системы заказчика и обеспечивает передачу вращательных движений от приводов к загрузчику вакуумной камеры, тем самым обеспечивая радиальное и прямолинейное перемещение манипулятора при транспортировке кремниевых пластин из шлюза в технологический модуль. Применим в кластерных установках. Характеристики МЖУ: -диаметр центрального вала (атмосфера/вакуум): 12/15мм; -диаметр радиального вала (атмосфера/вакуум): 48/34мм; -предельное давление в технологическом и шлюзовом модулях: 1*10-6Па; -угловая скорость вращения центрального и радиального валов 20 об/сек; -натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.