Профилометр uSTEP 300

Профилометр позволяет проводить диагностику пластин различного диаметра вплоть до 300 мм включительно.
Система позиционирования пьезосканера работает с точностью до 25 нм в латеральной плоскости образца.

Преимущества и особенности uSTEP 300:

- Возможность анализировать образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа
- Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 2.7 А
- Моторизованный позиционер большого размера позволяет исследовать образцы с диаметром до 300 мм
- Точность позиционирования в латеральной плоскости 25 нм
- Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ
- Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле
- Низкая нагрузка на образец весом 0.03 – 10 мг, что позволяет деликатно работать с исследуемыми материалами без повреждения поверхности
- Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и перемещением в латеральной плоскости
- Для сокращения влияния дрейфа и теплового шума система может быть дополнена термостабилизирующим шкафом