Система напыления C156RS

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.

Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества.
Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ

Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть золото, платина, палладий, углерод и др.

Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.

Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.

Что входит в систему:

- базовый блок с управляющей электроникой;
- магнетрон;
- вакуумная система с форвакуумным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
- сенсорный экран управления 7″;
- программное обеспечение на русском языке;
- книга «рецептов» напыления;
- стартовый набор расходных материалов.

Тех. характеристики:
- ​Диапазон давления: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос)
​ - Измерение толщины покрытия с помощью кварцевых весов
- ​Сохранение и загрузка пользов. рецептов >1000 шт
- ​Габариты и вес (без опций) 450х300х400 мм, 22 кг