Лабораторная вакуумная установка напыления тонких пленок - EPOS-PVD-E-MAG-400

Лабораторная PVD установка EPOS‐PVD‐E-Mag-400 имеет вакуумную камеру, оснащенную четырьмя фланцами для установки технологических источников напыления. Возможна установка термического испарителя-лодочки, DC и RF магнетронов, ионного источника очистки и ассистирования, электронно-лучевого испарителя. Установка оснащена вращающимся подложкодержателем с системой нагрева подложек и заслонкой.
Особенности
• Возможность изменения расстояния между подложкодержателем и источниками позволяет достигать требуемой равномерности напыления и состава пленок при заданных толщинах;
• Обеспечение позиционирования подложек напротив источника с помощью шагового двигателя;
• Индивидуальный нагрев подложек автоматически стабилизируется и рост температуры может быть запрограммирован до 650°С;
• Возможность оснащения кварцевым датчиком измерения толщины пленок и термопарой с точностью до 1°С.
• Прецизионная система газоподачи через кольцо в область напыления позволяет получать пленки высокой чистоты из оксидов металлов.

Преимущество
Широкий выбор технологических устройств и опции позволяют сконфигурировать систему непосредственно для Ваших нужд, а также возможность модернизации для дополнения и расширения производственных возможностей в будущем.