Вернуться к результатам поиска

Бессеточный ионный источник БИИ-15отр

Вернуться к результатам поиска
Бессеточный ионный источник БИИ-15отр
Производство:
Москва
БИИ-15отр создан МГТУ им. Н.Э. Баумана в рамках Федерального проекта «Развитие отечественного приборостроения гражданского назначения для научных исследований».
БИИ-15отр – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник снабжён контуром водяного охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 4,5 кВт с током разряда до 15 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с отражателем (end-Hall) БИИ-15отр характеризуется повышенными токовыми и энергетическими параметрами ионного пучка. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.
Иностранные аналоги
Kaufman & Robinson Inc. модель eH3000
Veeco модель Mark II High Output
Отзывы
Записей нет.