Вернуться к результатам поиска

Бессеточный ионный источник БИИ-5БО

Вернуться к результатам поиска
Бессеточный ионный источник БИИ-5БО
БИИ-5БО создан МГТУ им. Н.Э. Баумана в рамках Федерального проекта «Развитие отечественного приборостроения гражданского назначения для научных исследований».
БИИ-5БО – это бессеточный ионный источник с расходящимся пучком, предназначенный для использования в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. Источник не имеет контура охлаждения и способен работать практически на любом газе при мощности разряда до 0,4 кВт с током разряда до 5 А и напряжением до 300 В. Благодаря применению конструктивной схемы с отражателем (end-Hall) БИИ-5БО характеризуется повышенными токовыми и энергетическими параметрами ионного пучка. Ионный источник поставляется с двумя вариантами катода-нейтрализатора (нить накала и «плазменный мост») и специализированной системой питания и управления.
Иностранные аналоги
Kaufman & Robinson Inc. модель eH200
Отзывы
Записей нет.