Настольные установки имеют следующие параметры:
тип плазмы - низкочастотную или высокочастотную;
частота генератора - 40 кГц / 13,56 МГц;
мощность генератора - 50 - 100 кВт;
материал камеры - кварцевое стекло, нержавеющая сталь, алюминий;
объем камеры - 2 - 24 л;
форму камеры - цилиндрическая/ прямоугольная;
количество газов - от 1 до 3 шт;
подача газов - цифровой регулятор газов;
масса - 40-50 кг;
питание - 220 В, 1 фаза.