Вернуться к результатам поиска

Однокамерная установка периодического действия ВАТТ 1600-ТК

Вернуться к результатам поиска
Однокамерная установка периодического действия ВАТТ 1600-ТК
Компания:
ФЕРРИ ВАТТ
Производство:
Казань
Дополнительно:
Однокамерная установка периодического действия на основе камеры Ø1600 мм. с системой резистивного термического осаждения (20 резистивных испарителей, номинальный ток блока 800-1000 А) и системой плазмохимического осаждения кремнийорганического слоя (13,56 мГц, 1000 Вт).
Изделия закрепляются на специальных приспособлениях на барабане, с системой планетарного вращения. Установка комплектуется 2 барабанами с откатными тележками.
Последовательно, производится обработка в плазме тлеющего разряда, нанесение отражающего алюминиевого слоя, нанесение защитного кремнийорганического слоя в плазме ВЧ разряда.
Откатная тележка для барабана снабжена электроприводом. В комплект установки входят два комплекта барабана с тележкой отката.
Высоковакуумная часть состоит из четырех диффузионных паромасляных агрегатов АВДМ-400. Для предварительной - форвакуумной откачки используется два насоса АВЗ-125 и насос ДВН 500.
Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.
Отзывы
Записей нет.