Модели N2 лазеров

Азотные лазеры серии АИЛ являются представителями газоразрядных лазеров, генерирующих вынужденное излучение на электронно-колебательных переходах молекулы азота в ультрафиолетовой области спектра, с основными полосами l=337,1 нм, l=357,7 нм, l=315,9 нм.

Вследствие неблагоприятного соотношения вероятностей радиационного распада рабочих уровней молекулы азота инверсию, т.е. генерацию на

рассматриваемых проходах можно получить только в нестационарном (импульсном) режиме на фронте импульса возбуждения. Таким образом, азотные

лазеры, является лазером на самоограниченных переходах.

Азотный лазер ЛГИ-511 превосходно зарекомендовал себя в установках микроэлектроники. Короткая длина волны позволяет сфокусировать излучение в

пятно малых размеров и обрабатывать элементы на уровне долей микрометров, к тому же максимум чувствительности многих типов фоторезиста,

применяемых в микроэлектронике, лежит в этой области.

Параметры АИЛ-0.5 АИЛ-3 ЛГИ-511

Длина волны излучения, мкм 0.337 0.337 0.337

Энергия импульса излучения, мкДж 2.5 30 240

Средняя мощность излучения, мВт 0.5 3 240

Размер пучка излучения на уровне 0.1,

мм (не более)

1.5 2 5

Спектральный состав излучения ТЕМоо ТЕМоо TEMmn

Частота повторения импульсов, Гц 1 -200 1 -100 1-1000

Длительность импульса на уровне 0.5,

не

5 5 6-8

Габариты, мм, не более 200x130x70 350x325x150 1140x525x345

Масса, кг, не более 3 10 105

Питание, В 24 или 220 220 220

Потребляемая мощность, Вт, не более 20 50 1500

Охлаждение воздушное

конвекционное

воздушное

конвекционное

водяное, расход воды

1.5 - 2 л/мин

Температура эксплуатации, °С 0...+40 0...+40 0...+40

Гарантийная наработка, ч 500 500 500 .