Поиск

Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.

Установка предназначена для нанесения сверхтвердых покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.

Комплекс имеет четыре рабочих камеры, объединенных шлюзовой системой и транспортными связями в линию вакуумного напыления.

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов. Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества. Что входит в систему: ⬢ базовый блок с управляющей электроникой; ⬢ магнетрон; ⬢ вакуумная система с турбомолекулярным насосом; ⬢ предметный столик Ø100 мм с вращением; ⬢ большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла; ⬢ сенсорный экран управления 7″; ⬢ программное обеспечение на русском языке; ⬢ книга «рецептов» напыления; ⬢ стартовый набор расходных материалов. В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена: ⬢ измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов; ⬢ держателем образцов под задачи; ⬢ вакуумной системой на базе форвакуумного насоса; ⬢ различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры); ⬢ предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия; ⬢ сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла. Другие модели серии 156: Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS; Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE; Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE; Установка плазменной активации поверхности GD156R.

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов. Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить углерод на поверхность образца методом термического резистивного импульсного испарения с целью исследования образцов методом электронной микроскопии и получения изображения высокого качества. Что входит в систему: ⬢ базовый блок с управляющей электроникой; ⬢ углеродный испаритель; ⬢ вакуумная система с турбомолекулярным насосом; ⬢ предметный столик Ø100 мм с вращением; ⬢ большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла; ⬢ сенсорный экран управления 7″; ⬢ программное обеспечение на русском языке; ⬢ книга «рецептов» напыления; ⬢ стартовый набор расходных материалов. В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена: ⬢ измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов; ⬢ держателем образцов под задачи; ⬢ вакуумной системой на базе форвакуумного насоса; ⬢ различной комплектацией расходных материалов (углеродные шнуры/стержни, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры); ⬢ предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия; ⬢ сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла. Другие модели серии 156: Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE; Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS; Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS; Установка плазменной активации поверхности GD156R.

Установка предназначена для нанесения износостойких упрочняющих и коррозийностойких покрытий на металлические детали ионно-плазменным методом. Установка используется для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов применяемых для металлообработки.

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов. Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить углерод на поверхность образца методом термического резистивного импульсного испарения с целью исследования образцов методом электронной микроскопии и получения изображения высокого качества. Что входит в систему: ⬢ базовый блок с управляющей электроникой; ⬢ углеродный испаритель; ⬢ вакуумная система с форвакуумным насосом; ⬢ предметный столик Ø100 мм с вращением; ⬢ большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла; ⬢ сенсорный экран управления 7″; ⬢ программное обеспечение на русском языке; ⬢ книга «рецептов» напыления; ⬢ стартовый набор расходных материалов. В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена: ⬢ измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов; ⬢ держателем образцов под задачи; ⬢ вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса; ⬢ различной комплектацией расходных материалов (углеродные шнуры/стержни, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры); ⬢ предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия; ⬢ сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла. Другие модели серии 156: Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE; Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS; Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS; Установка плазменной активации поверхности GD156R.

Установка комплектуется одним испарителем для нанесения резистивных сплавов, двумя испарителями для нанесения металлических слоев и источником ионной очистки.

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки. Установка обеспечивает: безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов. очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока; нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки» контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля»; Основные технические характеристики: Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 40. Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350. Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60. Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 80

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов. Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества. Что входит в систему: ⬢ базовый блок с управляющей электроникой; ⬢ магнетрон; ⬢ вакуумная система с форвакуумным насосом; ⬢ предметный столик Ø100 мм с вращением; ⬢ большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла; ⬢ сенсорный экран управления 7″; ⬢ программное обеспечение на русском языке; ⬢ книга «рецептов» напыления; ⬢ стартовый набор расходных материалов. В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена: ⬢ измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов; ⬢ держателем образцов под задачи; ⬢ вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса; ⬢ различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры); ⬢ предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия; ⬢ сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла. Другие модели серии 156: Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS; Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE; Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE; Установка плазменной активации поверхности GD156R.

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки.

Установка комплектуется одним резистивным и двумя электронными испарителями с кольцевым катодом, источником ионной очистки.