Поиск

Предназначена для проведения процессов вакуумной термообработки: спекание, выращивание кристаллов из расплава, самораспространяющийся высокотемпературный синтез (СВС) азотированных керамических и металлокерамических материалов, ферросплавов, интерметаллидов тугоплавких металлов, а также для вакуумной пайки инструментов из сплавов и сверхтвердых материалов, закалки, отжига, дегазации. Печь позволяет выполнять высококачественную бездефектную вакуумную пайку и пайку в специальной атмосфере (технологическом газе или вакууме), высокотемпературный отжиг выращенных плёнок силовых приборов и изделий микроэлектроники; Вакуумные печи широко используются в атомной, электронной, авиационной и других отраслях промышленности. Печь EPOS- VACFURN -2000 c вертикально расположенной вакуумной камерой колпакового типа, с опускающимся механизированным подом и вертикальной загрузкой материалов и полуфабрикатов, устанавливается на раму с декоративными, легкосъемными панелями. Источник питания и пульт управления расположены в непосредственной близости к рабочей камере. Данная конструкция обеспечивает достижение глубокого вакуума (в холодном состоянии – не хуже 1·10-3 Па). Печь оснащена рубашкой охлаждения, системой жаростойких экранов и нагревателями на основе вольфрама и максимально проста в эксплуатации. Вакуум-герметичная конструкция и тщательный контроль газовых потоков позволяют проводить нагрев в атмосфере высокой чистоты в различных инертных, восстановительных газов и их смесей. Особенности • Полная автоматизация установки: управление вакуумными агрегатами, мощностью нагревателей, подачей газов, а также электромеханическими элементами. • Нагревательные элементы и зона нагрева выполнены из вольфрама, что позволяет нагревать изделия до 2000 °C.; • Скорость нагрева задается в диапазоне от 0,25 до 10 °С/мин; • Управление скоростью нагрева и охлаждения может осуществляться как в автоматическом (заданная программа), так и в ручном режиме; • Материалы, использованные для изготовления тепловых экранов - молибден, вольфрам и жаростойкая нержавеющая сталь; • Экраны крышек выполнены таким образом, что образуют тепловой замок; • Элементы конструкции, расположенные в зонах вакуума и нагрева обеспечивают низкий уровень газоотделения, малую тепловую инерцию; • В установке реализована возможность работы в среде инертных газов, формир-газа и их смеси; • Типичная загрузка обрабатываемого материала до 5 кг; Преимущества Печь позволяет проводить нагрев и охлаждение материалов, при низких градиентах и высокой точности контроля и поддержания температуры рабочей зоны при температурах на изделии до 2000°C. При этом реализованы 2 варианта настройки программы работы печи: • по температуре нагревателя (OTC), температурный сенсор в области нагревателя; • по температуре загрузки (STC), температурный сенсор в зоне нагрева над загрузкой. Точность определения температуры печи и зоны нагрева определяется классом точности термопары (ТВР А1); Точность поддержания температуры в изотермическом режиме +/- 5С; Компактная, вакуум-плотная конструкция печи гарантирует чистый, безопасный, и эффективный процесс при соблюдении высоких требований эргономики на рабочем месте оператора; При проведении технологических операций с обрабатываемыми материалами конструкция печи гарантирует защиту от окисления поверхности и других нецелевых химических процессов;

Метод измерения основан на анализе дифракционной картины, получаемой при вращении источника рентгеновского излучения вокруг брэгговской оси, лежащей в плоскости поверхности образца.

Он состоит из блока детектирования, блока интенсиметра и может использоваться для контроля рентгеновского излучения в составе различных рентгеновских аппаратов, в частности, рентгеновских дифрактометров. Интенсиметр обеспечивает визуальный отсчет интенсивности излучения по стрелочному прибору. Интенсиметр может работать как в ручном режиме, так и с управлением от компьютера.

Двухкристальный рентгеновский дифрактометр ДСО-1 (DSO-1) предназначен для автоматического измерения ряда структурных характеристик полупроводниковых пластин: структурного совершенства образцов по кривым качания, параметров решëтки, профиля деформации приповерхностной структуры и др. Он позволяет также определять ориентацию кристаллов.

SCSD-4 (Single Channel Scintillation Detector) - оптимальное средство для измерения потока рентгеновских квантов в дифракционных, спектральных, абсорбционных и других экспериментах под управлением IBM PC AT совместимого компьютера.

Автоматический трехкружный рентгеновский дифрактометр ДСО-2-01 (рис.1) предназначен для автоматического измерения брэгговского угла заданного отражения от монокристалла. Дифрактометр позволяет проводить измерения на субмиллиметровых образцах произвольной формы, в частности, на кристаллических измерителях максимальной температуры (ИМТК).

Предназначен для измерения угла среза монокристаллов, в частности, сапфира с любой из ориентаций, С(0001), А(11-20), R(01-12) или М(01-10) в диапазоне разориентаций ± 5.0 градусов с погрешностью 15 угл. секунд.

Источник рентгеновского излучения состоит из двух частей - рентгеновской трубки в защитном кожухе с заслонкой и блока управления с микроконтроллером, позволяющего регулировать рабочие параметры рентгеновской трубки. Рентгеновская трубка БС-14 мощностью 5 Вт, или БС-18 мощностью 10 Вт имеет металло-стеклянную конструкцию и легко заменяется при необходимости смены длины волны характеристического излучения.

Рентгеновский дифрактометр ДСО-2Г (рис.1) предназначен для автоматического уточнения ориентации монокристаллов кремния относительно поверхности кристалла, для полуавтоматического уточнения разориентации геометрической и кристаллографической осей, а также для ручного определения и автоматического уточнения ориентации базового среза. Метод измерения основан на анализе дифракционных отражений, получаемых при вращении маломощного источника рентгеновского излучения около анализируемой поверхности неподвижного монокристалла. При этом пространственное положение анализируемой поверхности определяется с помощью лазерного датчика расстояния.

Двухкристальный автоматический трехкружный рентгеновский дифрактометр ДСО-2П (DSO-2P) (рис.1) предназначен для автоматического уточнения ориентации монокристаллических пластин относительно поверхности кристалла, включая уточнение направления базового среза. Метод измерения основан на анализе дифракционной картины, получаемой при вращении источника рентгеновского излучения вокруг брэгговской оси, лежащей в плоскости поверхности образца.

Приставка ПДП-1 с пятью степенями свободы к рентгеновскому дифрактометру ДРОН-3(4, 6, УМ1) предназначена для автоматического картирования монокристаллических пластин и эпитаксиальных структур по дифракционным характеристикам двухкристальных кривых качания. Приставка ПДП-1 включает в себя модернизацию гониометра ГУР-8 или ГУР-9 (два шаговых двигателя, два угловых датчика и новый редуктор), новую стойку рентгеновской трубки, новую стойку коллиматора (монохроматора), оригинальный сцинтилляционный детектор на новом кронштейне, специализированный компактный блок управления и оригинальное программное обеспечение.