Поиск

Затвор ЗВПлЭ-630 состоят из корпуса с присоединительными фланцами, механизма затвора, манжетного уплотнения для обеспечения герметичности приводного элемента, крышки, электропривода. Механизм затвора состоит из каретки, верхней и нижней заслонки, которые между собой стягиваются пружинами и шариками. Каретка перемещается по направляющим корпуса на подшипниках. Открывание и закрывание затвора ЗВПлЭ-630 производится как электроприводом, так и вручную с помощью маховика. Для перехода на режим ручного управления на электроприводе имеется устройство переключения. Ручной привод служит для настройки и регулировки затвора. Затворы ЗВПлЭ-630 изготавливаются в климатических исполнениях по ГОСТ 15150-69 УХЛ и О категории размещения 4

Затвор ЗВПлЭ-900 состоят из корпуса с присоединительными фланцами, механизма затвора, манжетного уплотнения для обеспечения герметичности приводного элемента, крышки, электропривода. Механизм затвора состоит из каретки, верхней и нижней заслонки, которые между собой стягиваются пружинами и шариками. Каретка перемещается по направляющим корпуса на подшипниках. Открывание и закрывание затвора ЗВПлЭ-900 производится как электроприводом, так и вручную с помощью маховика. Для перехода на режим ручного управления на электроприводе имеется устройство переключения. Ручной привод служит для настройки и регулировки затвора. Затворы ЗВПлЭ-900 изготавливаются в климатических исполнениях по ГОСТ 15150-69 УХЛ и О категории размещения 4.

Использование водокольцевого вакуумного насоса 2ВВН1-6М(Н) для откачки водогазовых смесей допускается лишь при условии отделения и отвода основной массы воды у входа в насос. Невыполнение этого требования может привести к недопустимой перегрузке электродвигателя и разрушению рабочих органов насоса 2ВВН1-6М(Н). Насос вакуумный водокольцевой 2ВВН1-6М(Н) изготавливается в климатическом исполнении УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150-69, соответствует требованиям технических условий ТУ 3648-015-00218526-2000, разработан и изготавливается с учётом требований ГОСТ Р 52615-2006. Требования к качеству электроэнергии по ГОСТ 32144-2013.

Рабочее состояние диффузионного насоса НД-800 зависит от температуры рабочей жидкости в кипятильнике насоса. При первоначальной заливке рекомендуется заливать максимальный объем рабочей жидкости. Рабочая жидкость - масло вакуумное «VACMA OIL 500» ТУ 19.20.29-061-00218526-2019. Oбщee количество рабочей жидкости в диффузионном насосе НД-800 максимум 15л, минимум 10л. Смотровое окно для визуального контроля рабочей жидкости имеет метки максимального и минимального его количества. При нормальном режиме эксплуатации насоса уровень рабочей жидкости практически не меняется. Температура рабочей жидкости при работе насоса на предельном остаточном давлении составляет около (240...255) 0С. Работу нагревателей в диффузионном насосе НД-800 рекомендуется контролировать с помощью двух датчиков температуры. Датчик температуры необходимо устанавливать в специальное гнездо радиатора над нагревателем. В том случае, когда происходит потеря рабочей жидкости и увеличение температуры радиаторов до 360 0С для диффузионного насоса НД-800, датчик температуры должен дать команду на автоматическое отключение нагревателей. Последующее включение нагревателей насоса не должно быть автоматическим и должно производиться только после охлаждения системы. Вода на входе в системы охлаждения корпуса и маслоотражателя должна подаваться давлением от 0,3 MПa (3 кгс/см2) до 0,5 MПa (5 кгс/см2) и температурой от плюс 4 °С до плюс 25 °С. Рекомендуемый расход охлаждающей воды на корпус 900 л/ч, на маслоотражатель 120 л/ч и регулируется по температуре воды на выходе, которая не должна превышать плюс 40 °С. Слив воды должен быть свободным (с разрывом струи).

Бустерный насос 2НВБМ-400(Р)/6000 представляет собой конструкцию, состоящую из корпусов, паропровода, ловушки и нагревателя. Требуемая эффективная быстрота действия форвакуумного насоса (насосов) при давлении 200 Па (1,5 мм рт.ст.) на выходе из бустерного насоса 2НВБМ-400(Р)/6000 не менее 45 л/с. Предельное остаточное давление насоса 2НВБМ-400(Р)/6000, замеряемое преобразователем манометрическим ионизационным ПМИ-2 с залитым в его ловушку азотом, не более 6,6∙10-4 Па (5∙10-6 мм рт.ст.). Давление охлаждающей воды на входе в насос 2НВБМ-400(Р)/6000 должно быть от 0,2 до 0,5 МПа (от 2 до 5 кгс/см2). Слив из насоса должен быть свободным с разрывом струи. Расход охлаждающей воды 600 л/ч. Общее количество рабочей жидкости для насоса 2НВБМ-400(Р)/6000 составляет 47л., уровень рабочей жидкости должен находиться между верхней и нижней рисками уровнемера. Замена или доливка рабочей жидкости зависит от режима работы насоса (входного давления, продолжительности откачки и т.п.) и состава откачиваемой среды, поэтому время через которое заменяется или доливается рабочая жидкость может быть 100 часов и более. Большой расход рабочей жидкости наблюдается при работе насоса в диапазоне входных давлений от 1,33 до 13,3 Па (от 1·10-2до 1·10-1мм рт.ст.). Режим работы насоса в диапазоне от 13,3 Па (0,1 мм рт.ст.) до предельного остаточного давления – циклически нерегулярный.

Предлагаем Вам услуги по проектированию и создание вакуумных камер любой сложности (комплексное решение контроля герметичности): объем камеры от 1 до 100литров; многозонные малоразмерные специализированные вакуумные камеры (кассетного типа); карусели; возможность комплектации запорной арматурой(клапана); применение различных фланцевых разъемов (по согласованию); возможность автоматизации тех.процесса; возможность подключения не стандартного дополнительного оборудования.

Установка разработана специально для отработки технологий нанесения покрытий, проведения научных исследований и небольшого производства. Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий за счёт автоматизации управления вакуумной системой и широким диапазоном регулировок процесса напыления. Установка предусматривает возможность нанесения различных типов металлов (Au, Ti, Mo, Cr, Ni, Al, Cu и т.д.) и диэлектриков на твёрдые образцы (кремний, керамика, стекло, металлы). Многофункциональная PVD установка EPOS‐PVD‐E-Mag имеет вакуумную камеру, оснащенную шестью фланцами ISO100 для установки различных технологических источников напыления и других типов (CF100, KF40, 25, 16, «bolt») для вспомогательного оборудования. Возможна установка термического испарителя-лодочки, низкотемпературного испарителя (LTE), DC и RF магнетронов, ионного источника очистки и ассистирования, электронно-лучевого испарителя. Установка оснащена вращающимся подложкодержателем на несколько образцов диаметром до 150 мм с системой нагрева и заслонкой. Особенности и опциональные возможности • Вращаемый карусельный подложкодержатель (двойное вращение) с позиционированием по оптическому датчику положения. • Возможность изменения расстояния между подложкодержателем и источниками позволяет достигать требуемой равномерности напыления и состава пленок при заданных толщинах; • Обеспечение позиционирования подложек напротив источника с помощью шагового двигателя; • Индивидуальный нагрев подложек автоматически стабилизируется и рост температуры может быть запрограммирован до 650°С; • Возможность оснащения кварцевым датчиком измерения толщины пленок и термопарой с точностью до 1°С. • Прецизионная система газоподачи через кольцо в область напыления позволяет получать пленки высокой чистоты из оксидов металлов. Преимущество Возможность полной автоматизации: контроль вакуума, подачи газов, температуры подложки, предварительной очистки поверхности и ассистирования в процессе нанесения покрытия. Контроль толщины наносимого покрытия с помощью автотоматизированных заслонок у всех источников (до 5 штук) с закрытием по таймеру экспозиции или датчику толщины. Широкий выбор технологических устройств и опции позволяют сконфигурировать систему непосредственно для Ваших нужд, а также возможность модернизации для дополнения и расширения производственных возможностей в будущем.

Лабораторная PVD установка EPOS‐PVD‐E-Mag-400 имеет вакуумную камеру, оснащенную четырьмя фланцами для установки технологических источников напыления. Возможна установка термического испарителя-лодочки, DC и RF магнетронов, ионного источника очистки и ассистирования, электронно-лучевого испарителя. Установка оснащена вращающимся подложкодержателем с системой нагрева подложек и заслонкой. Особенности • Возможность изменения расстояния между подложкодержателем и источниками позволяет достигать требуемой равномерности напыления и состава пленок при заданных толщинах; • Обеспечение позиционирования подложек напротив источника с помощью шагового двигателя; • Индивидуальный нагрев подложек автоматически стабилизируется и рост температуры может быть запрограммирован до 650°С; • Возможность оснащения кварцевым датчиком измерения толщины пленок и термопарой с точностью до 1°С. • Прецизионная система газоподачи через кольцо в область напыления позволяет получать пленки высокой чистоты из оксидов металлов. Преимущество Широкий выбор технологических устройств и опции позволяют сконфигурировать систему непосредственно для Ваших нужд, а также возможность модернизации для дополнения и расширения производственных возможностей в будущем.