Поиск

Ловушка вакуумная конденсаторного типа ёмкостью 2 литра предназначена для конденсации паров неагрессивных газов на внутренних охлаждаемых поверхностях ловушки, с целью предотвращения попадания их в насос.

Электропечь предназначена для проведения различных термических процессов отжига, дегазации, спекания и других процессов в вакууме при температуре до 1600 оС и небольших газовыделениях, при которых не происходит взаимодействия среды остаточных газов с материалами нагревателей, экранной изоляцией и другими элементами конструкции.

Работа диффузионного насоса НВДМ-100 основана на захвате и переносе откачиваемого газа струей пара, истекающей из щелевых зазоров сопел паропровода в сторону выходного фланца. Маслоотражатель диффузионного насоса НВДМ-100 представляет собой колпак с напаянной на него трубкой охлаждения с штуцерами. Нагреватель диффузионного насоса НВДМ-100, открытого типа представляет собой металлический корпус с уложенным в него керамическим основанием с нагревательным элементом, выполненным в виде спирали из нихромовой проволоки. Во время работы насоса необходимо следить за расходом и температурой охлаждающей воды, уровнем рабочей жидкости и ее температурой. Замена или доливка рабочей жидкости зависит от режима работы насоса (входного давления, продолжительности откачки и др.) и состава откачиваемой среды. Поэтому время, через которое заменяется или доливается рабочая жидкость, может быть от 100 до 1000 и более часов. Большой расход рабочей жидкости наблюдается при работе насоса в диапазоне входных давлений от 6,6×10-2до 13,3 Па (от 5×10-4до 1×10-1мм рт.ст.). Вода на входе в системы охлаждения корпуса и маслоотражателя должна подаваться с давлением не более 0,5 МПа (5 кгс/cм2) и температурой от плюс 40С до плюс 250С. Рекомендуемый расход охлаждающей воды 35+5л/ч и регулируется по температуре воды на выходе, которая не должна превышать плюс 400С. Слив воды должен быть свободным (с разрывом струи). Не допускаются: работа насоса без водяного охлаждения, превышение наибольшего выпускного давления 35 Па (0,263 мм рт.ст.) Уровень рабочей жидкости в процессе эксплуатации, при котором обеспечиваются параметры диффузионного насоса НВДМ-100, должен соответствовать min 7мм, max 11мм. Объём заливаемой рабочей жидкости 0,07л.

Четырехступенчатый мембранный насос применяется для непрерывной, безмасляной откачки газов в тех случаях, когда необходимо достичь предельного вакуума, составляющего доли миллибар. Все части, контактирующие с откачиваемыми парами или газами, изготовлены из алюминия. Насос обеспечивают бесшумность и низкий уровень вибраций, герметичность и высокую производительность.

Установка «Оратория 29М» обеспечивает: • безмасляную вакуумную откачку на базе криогенного насоса; • автоматическую загрузку пластин на конвейер из кассеты и выгрузку пластин в кассету, счет загружаемых и выгружаемых пластин, световую и звуковую сигнализацию об окончании загрузки и выгрузки пластин; • ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин; • работу трех магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.; • работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250; • исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака; • повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку; • корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»); • возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно; • протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий; • непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций; • диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.

Предназначены для проведения различных технологических процессов при температуре от 40 до 500 оС, в вакууме до 1х10−3 мм.рт.ст., либо инертном газе высокой чистоты. Используются для сушки, светлого отжига, старения, низкого и среднего отпуска в безокислительной среде, дегазации черных и цветных металлов (в том числе меди и медных сплавов), либо любых других материалов обрабатываемых в подобных условиях. Программное задание режимов термообработки включающее вакуумирование, напуск инертного газа высокий чистоты с повторным вакуумированием позволяет вести нагрев в безокислительной среде с обеспечением высокой чистоты поверхностей обрабатываемых деталей, без окалинообразования и окисления.

Интегрированная бесфланцевая ловушка ЛИ-630 устанавливается внутри диффузионного насоса вместо штатного маслоотражателя, без увеличения габаритных размеров диффузионного насоса. Ловушка ЛИ-630 выполняет функцию маслооотражателя, ставится вместо стандартного маслоотражателя в насосы, имеет дополнительное количество охлаждаемых экранов для улавливания паров обратного потока масла (больше чем у ловушки МУ), перекрывает всю площадь входного высоковакумного фланца.

Для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума используются соединения стандарта ConFlat (CF).

Для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума используются соединения стандарта ConFlat (CF).