Поиск

Предназначена для нанесения сверхтвердых покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.

Азотная заливная ловушка ЛА-100 устанавливается на входном фланце диффузионного насоса и предназначена для снижения потока паров рабочей жидкости в откачиваемый объем путем конденсации их на охлажденных жидким азотом элементах вымораживающего устройства.

Для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума используются соединения стандарта ConFlat (CF).

Для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума используются соединения стандарта ConFlat (CF).

Проточная водяная ловушка ЛП-400(Р) устанавливается на входном фланце диффузионного насоса и предназначена для снижения потока паров рабочей жидкости в откачиваемый объем путем конденсации их на охлажденных элементах вымораживающего устройства.

Предназначены для проведения различных технологических процессов при температуре от 40 до 500 оС, в вакууме до 1х10−3 мм.рт.ст., либо инертном газе высокой чистоты. Используются для сушки, светлого отжига, старения, низкого и среднего отпуска в безокислительной среде, дегазации черных и цветных металлов (в том числе меди и медных сплавов), либо любых других материалов обрабатываемых в подобных условиях. Программное задание режимов термообработки включающее вакуумирование, напуск инертного газа высокий чистоты с повторным вакуумированием позволяет вести нагрев в безокислительной среде с обеспечением высокой чистоты поверхностей обрабатываемых деталей, без окалинообразования и окисления.

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки. Установка обеспечивает: безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов. очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока; нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки» контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля»; Основные технические характеристики: Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 40. Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350. Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60. Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 80

Затворы с пневмоприводом ЗВПлП-250 с условным проходом 250 мм предназначен для перекрытия вакуумных систем в диапазоне давлений от 1·10–6до 1,07·105Па (от 0,75·10–8до 800 мм рт. ст.). Вид затвора ЗВПлП-250 шиберный. Затвор с пневмоприводом ЗВПлП-250 изготавливается в климатическом исполнении УХЛ категории размещения 4 по ГОСТ 15150 – 69. Рабочая среда – воздух и неагрессивные газы. Затворы ЗВПлП не предназначены для использования на пожаро-взрывоопасных производствах.

Производить откачку парогазовых смесей только при открытом газобалластном устройстве. Насос вакуумный пластинчато-роторный НВР-4,5Д изготавливается в климатическом исполнении УХЛ 4 по ГОСТ 15150-69, но для эксплуатации при температуре окружающего воздуха и окачиваемой среды от 283 К до 308 К (от +100С до +350С), соответствует требованиям технических условий ТУ 3648-006-00218526-2002, разработан и изготавливается с учётом требований ГОСТ Р 52615-2006. Требования к качеству электроэнергии по ГОСТ 13109-97.