Поиск

Предназначены для проведения различных технологических процессов при температуре от 40 до 500 оС, в вакууме до 1х10−3 мм.рт.ст., либо инертном газе высокой чистоты. Используются для сушки, светлого отжига, старения, низкого и среднего отпуска в безокислительной среде, дегазации черных и цветных металлов (в том числе меди и медных сплавов), либо любых других материалов обрабатываемых в подобных условиях. Программное задание режимов термообработки включающее вакуумирование, напуск инертного газа высокий чистоты с повторным вакуумированием позволяет вести нагрев в безокислительной среде с обеспечением высокой чистоты поверхностей обрабатываемых деталей, без окалинообразования и окисления.

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки. Установка обеспечивает: безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов. очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока; нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки» контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля»; Основные технические характеристики: Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 40. Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350. Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60. Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 80

Затворы с пневмоприводом ЗВПлП-250 с условным проходом 250 мм предназначен для перекрытия вакуумных систем в диапазоне давлений от 1·10–6до 1,07·105Па (от 0,75·10–8до 800 мм рт. ст.). Вид затвора ЗВПлП-250 шиберный. Затвор с пневмоприводом ЗВПлП-250 изготавливается в климатическом исполнении УХЛ категории размещения 4 по ГОСТ 15150 – 69. Рабочая среда – воздух и неагрессивные газы. Затворы ЗВПлП не предназначены для использования на пожаро-взрывоопасных производствах.

Производить откачку парогазовых смесей только при открытом газобалластном устройстве. Насос вакуумный пластинчато-роторный НВР-4,5Д изготавливается в климатическом исполнении УХЛ 4 по ГОСТ 15150-69, но для эксплуатации при температуре окружающего воздуха и окачиваемой среды от 283 К до 308 К (от +100С до +350С), соответствует требованиям технических условий ТУ 3648-006-00218526-2002, разработан и изготавливается с учётом требований ГОСТ Р 52615-2006. Требования к качеству электроэнергии по ГОСТ 13109-97.

Ловушка азотная проточная ЛАП-100П предназначена для защиты вакуумных насосов от загрязнений в виде паров смол, масел и клеев посредством их вымораживания на охлаждаемых поверхностях с возможностью их удаления и для предотвращения проникновения паров рабочих жидкостей вакуумных насосов в откачиваемый сосуд.

Предназначены для проведения различных технологических процессов при температуре от 40 до 500 оС, в вакууме до 1х10−3 мм.рт.ст., либо инертном газе высокой чистоты. Используются для сушки, светлого отжига, старения, низкого и среднего отпуска в безокислительной среде, дегазации черных и цветных металлов (в том числе меди и медных сплавов), либо любых других материалов обрабатываемых в подобных условиях. Программное задание режимов термообработки включающее вакуумирование, напуск инертного газа высокий чистоты с повторным вакуумированием позволяет вести нагрев в безокислительной среде с обеспечением высокой чистоты поверхностей обрабатываемых деталей, без окалинообразования и окисления.

Маслоотделитель 2MO-5 устанавливается на выхлопной фланец насоса с помощью быстроразъемного соединения, а также может быть подсоединён через трубопровод, в случае если нет возможности размещения на выхлопном фланце. В случае приобретения маслоотделителя 2MO-5, как самостоятельное изделие, необходимо (только для насоса 2НВР-5ДМ имеющего резьбы в корпусе) снять корпус насоса, снять выхлопную оливку, установить штуцер вместо оливки с помощью гайки и уплотнителя, внутрь штуцера уложить сетку, с помощью быстроразъемного зажима, кольца и уплотнителя установить маслоотделитель.

Ловушка вакуумная конденсаторного типа ёмкостью 5 литров предназначена для конденсации паров неагрессивных газов на внутренних охлаждаемых поверхностях ловушки, с целью предотвращения попадания их в насос.

Ловушка вакуумная конденсаторного типа ёмкостью 12 литров предназначена для конденсации паров неагрессивных газов на внутренних охлаждаемых поверхностях ловушки, с целью предотвращения попадания их в насос.

Агрегат вакуумный водокольцевой АВВ-50 состоит из насоса вакуумного водокольцевого 3BBH2-50 и водокольцевого вакуумного эжектора ЭВ-50

Размеры Ду 10,16,20,25,32,40,50 Обжимные кольца (алюминий) для колец с высокой уплотнительной способностью.