Поиск

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов. Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества. Что входит в систему: ⬢ базовый блок с управляющей электроникой; ⬢ магнетрон; ⬢ вакуумная система с турбомолекулярным насосом; ⬢ предметный столик Ø100 мм с вращением; ⬢ большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла; ⬢ сенсорный экран управления 7″; ⬢ программное обеспечение на русском языке; ⬢ книга «рецептов» напыления; ⬢ стартовый набор расходных материалов. В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена: ⬢ измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов; ⬢ держателем образцов под задачи; ⬢ вакуумной системой на базе форвакуумного насоса; ⬢ различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры); ⬢ предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия; ⬢ сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла. Другие модели серии 156: Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS; Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE; Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE; Установка плазменной активации поверхности GD156R.

Этот одноступенчатый мембранный насос может одновременно работать как вакуумный насос и как компрессор. Все основные части, контактирующие с откачиваемой средой, изготовлены из алюминия и пластмассы, а мембраны и клапана бензомаслостойкие что позволяет применять их в широком круге приложений для некоррозионных газов.

Интегрированная бесфланцевая ловушка ЛИ-500 устанавливается внутри диффузионного насоса вместо штатного маслоотражателя, без увеличения габаритных размеров диффузионного насоса. Ловушка ЛИ-500 выполняет функцию маслооотражателя, ставится вместо стандартного маслоотражателя в насосы, имеет дополнительное количество охлаждаемых экранов для улавливания паров обратного потока масла (больше чем у ловушки МУ), перекрывает всю площадь входного высоковакумного фланца.

Невыполнение этого требования может привести к недопустимой перегрузке двигателя и разрушению рабочих органов насоса. Водокольцевой вакуумный насос 3ВВН2-50(Н) не предназначен для использования на пожаровзрывоопасных производствах. Насос вакуумный водокольцевой 3ВВН2-50(Н) изготавливается в климатическом исполнении УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150-69, соответствует требованиям технических условий ТУ 3648-053-00218526-2013, разработан и изготавливается с учётом требований ГОСТ Р 52615-2006.

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки.

Проточная водяная ловушка ЛП-630 устанавливается на входном фланце диффузионного насоса и предназначена для снижения потока паров рабочей жидкости в откачиваемый объем путем конденсации их на охлажденных элементах вымораживающего устройства.

Для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума используются соединения стандарта ConFlat (CF).