LLC "EPOS-Engineering"

پروب لانگمور برای تشخیص پلاسمای محلی طراحی شده است. مقدار جریان در هر الکترود قرار داده شده در پلاسما ، بسته به مقدار ولتاژ دندان اره اعمال شده ، یعنی مشخصه ولتاژ پروب (VAC) اندازه گیری می شود. VAC امکان تعیین پارامترهای محلی پلاسمای بدون اختلال در منطقه محل الکترود را فراهم می کند. با استفاده از دستگاه ریاضی داخلی ، تراکم پلاسما محاسبه می شود و دمای آن بر اساس VAC اندازه گیری شده تخمین زده می شود. اگر دو الکترود کوچک یکسان در فاصله نزدیک به پلاسما وارد شوند و ولتاژ بین آنها اعمال شود ، زاند لانژمیر در حالت پروب دوگانه عمل می کند. این حالت به طور پیش فرض تنظیم شده است ، به شما امکان می دهد پارامترهای پلاسمای فرکانس بالا یا غیر ثابت را عملا بدون مزاحمت تشخیص دهید ، زیرا الکترودها به طور کامل از محفظه تخلیه جدا شده اند. در حالت تک سنج ، ولتاژ دندان اره به الکترود اعمال می شود که نسبت به الکترود مرجع که ممکن است دیواره فلزی اتاق تخلیه باشد ، به پلاسما وارد می شود. تجهیزات: - سیستم قدرت و اندازه گیری زاند لانژمیر - سنسور فلنج خلاء; - کابل اتصال; - مقیاس برای کنترل ارزش های حرکت; - نرم افزار کنترل از راه دور واحد ، نمایش VAC و ثبت اطلاعات اندازه گیری شده مشخصات فنی. سیستم تغذیه و اندازه گیری: طرح مورد: رک ، 19" حداکثر دامنه سیگنال تولید شده ، در: 150 محدوده کنترل مدت زمان سیگنال تولید شده ، ms.: 0.1-8 محدوده کنترل فرکانس سیگنال تولید شده ، هرتز: 1-100 پالس های ولتاژ اره ای تک یا دوره ای با دامنه ، مدت زمان و فرکانس معین تولید می کند; توانایی همگام سازی از یک منبع خارجی ، شروع چرخه ای یا دستی. پروتکل کنترل از راه دور: TCP / IP مجاز به کار با دستگاه بدون کامپیوتر است: VAC توسط یک اسیلوسکوپ یا دستگاه ضبط دیگر از خروجی های جدا شده گالوانیزه داخلی در پانل پشتی واحد ضبط می شود. کنترل ها: - شاخص های دیجیتال دامنه ، مدت زمان ، فرکانس در پانل جلو; - انتخاب دامنه ، مدت زمان ، فرکانس هر دو در رابط و در پانل جلو; - انتخاب روش راه اندازی هم از طریق رابط و هم از صفحه جلو; - انتخاب و نمایش محدوده ولتاژ و جریان هم از طریق رابط و هم از پنل جلویی. کاوشگر مواد الکترود: تنگستن مواد عایق: کوروند یا کوارتز. دستکاری کننده: - با قرار دادن خلاء جابجایی (تا 1100 میلی متر) و چرخش با پمپاژ دیفرانسیل; - با بلوز ورودی خلاء برای خلاء بالا; - و همچنین نسخه بدون دستکاری-تک الکترود یا چند الکترود.