تعیین اکسیژن بینابینی (نیمه MF1188) ، جایگزینی کربن (نیمه MF1391) ، ضخامت لایه اپیتاکسیال (نیمه MF95) ، ناهمگنی شعاعی اکسیژن بینابینی (نیمه MF951) ، غلظت بور و فسفر در BFSS در ویفرهای سیلیکونی و سازه ها ، ضخامت لایه اپیتاکسیال در سازه های CNS توسط طیف های IR.