دستگاه آزمایشگاهی مگنترون اسپاترینگ وات 200-2MR

یک مجموعه پوشش مغناطیسی چند منظوره خودکار متشکل از دو اتاق.
اتاق بزرگ افقی ، به شکل مستطیل ، از فولاد ضد زنگ با سطوح داخلی الکتروپولیش شده ساخته شده است. دیوارهای مسکن دارای دنده های سفت کننده هستند. درب های فولادی ضد زنگ مستطیل با سطوح داخلی الکتروپولیش شده برای بارگیری محصولات در محفظه ، سرویس دهی به دستگاه های آزمایش شده و نظارت بر روند آزمایش از طریق مشاهده پنجره ها استفاده می شود. اتاق بزرگ سه مگنترون مسطح ، یک منبع یون گسترده و همچنین سه مگنترون گرد و یک منبع یون گرد را در خود جای داده است.
این دوربین همچنین دارای یک ماژول جابجایی است که حرکت خطی را با سرعت خاصی فراهم می کند و در هر نقطه از دوربین تنظیم شده توسط اپراتور متوقف می شود. ماژول شامل یک واگن ، راهنما ، ورودی و یک سیستم انتقال حرکت است. یک صفحه حرارتی به کالسکه متصل می شود تا دمای نمونه های پوشش داده شده حفظ شود.
اتاق کوچک جوش داده شده ، عمودی ، نوع کلاه ، ساخته شده از فولاد ضد زنگ است. بلند کردن هود توسط یک آسانسور الکترومکانیکی انجام می شود. اتاق کوچک چهار مگنترون گرد و یک منبع یونی دارد.
سیستم خلاء برای هر دو اتاق یکسان است و بر روی یک پمپ کریوجنیک cti Cryogenics Cryo Torr 8 و یک پمپ پیش از خلاء مارپیچی Anest IWATA ISP-500C ساخته شده است. یک اتاق توزیع ویژه با مجموعه ای از دریچه ها برای تغییر پمپاژ بین اتاق ها استفاده می شود.
این نصب می تواند در حالت های دستی و اتوماتیک کار کند.