ENGINEERING CENTER FOR MOLECULAR LAYERING

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：0.8 最大工作压力，MPa：6.8 工作体积，毫升：50 总体积，毫升：75 起重能力m3/h（Kv）：0.28 工作温度范围，°C：-62 至 315 高度取决于配置，毫米：230 气缸宽度/包括阀门的宽度，毫米：38/69。

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：2.6 最大工作压力，MPa：1.6 工作体积，毫升：1000 起重能力m3/h（Kv）：0.22 工作温度范围，°C：10 至 120 高度取决于配置，毫米：267 气缸宽度/包括阀门的宽度，毫米：104/127。

MK-2 采用全焊接柜体形式，配有两个 ASG 容量为 5 dm3 的气瓶以及根据当前 MVI 校准气体分析仪所需的管道。 ASG 的组成、气缸数量及其排量由客户的技术规格决定。 特征： 使用的气体或 ASG：中性（惰性） 截止阀：黄铜 气缸类型：5-150U（5 dm³） ASG 气缸数量：2 最大工作压力，MPa：15 ASG 流量调节，升/分钟：0...25 粉末涂装：RAL 7035 使用条款： - 环境空气温度，度。 ℃：+10...+40 -相对湿度，%：最高85 执行类型：钢柜 尺寸，毫米（不再）：800×600×250 重量，公斤（不再）：50。

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 起泡器的配置根据技术规范确定

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：1 最大工作压力，MPa：1.6 工作体积，毫升：100 起重能力m3/h（Kv）：0.22 工作温度范围，°C：10 至 120 高度取决于配置，毫米：242 气缸宽度/包括阀门的宽度，毫米：38/110。

实验室升降台 方面： 工作面尺寸：100x100毫米； 调节高度：45-130毫米。 材料： 主要材质：不锈钢； 手柄：硬质塑料。

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：1.8 最大工作压力，MPa：1.6 工作体积，毫升：450 起重能力m3/h（Kv）：0.22 工作温度范围，°C：10 至 120 高度取决于配置，毫米：241.7 气缸宽度，毫米：76。

用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。 不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成，粗糙度小于 1 Ra。 内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。 整套起泡器根据客户的规格确定，包括适配器和隔膜阀。 重量，公斤：1.4 最大工作压力，MPa：1.6 工作体积，毫升：180 起重能力m3/h（Kv）：0.22 工作温度范围，°C：10 至 120 高度取决于配置，毫米：232 气缸宽度/包括阀门的宽度，毫米：57/108。