تقنية النانو سكان

التكوين الأساسي لمجهر مسبار المسح Certus ، المصمم لحل مجموعة واسعة من المهام البحثية والتحليلية. مسح الطائرة موازية على طول X, Y,Z محاور يسمح لك للحصول على صورة من السطح وتنفيذ تحرير الصور اللاحقة مع الحد الأدنى من التشويه وفقدان المعلومات; المسح الضوئي مع كل من التحقيق (الماسح الضوئي التقليدي داخل رأس المسح Certus) والماسح الضوئي عينة شيز فائق السرعة. يحل الاتصال المتوازي للمستوى للمسبار بالعينة مشكلة التوصيل اليدوي الشاق للمسبار بالعينة. يتم التوريد بواسطة ثلاثة دعامات آلية; يجعل التصميم المفتوح لرأس المسح من الممكن مراقبة سطح عينة الاختبار بزاوية 0-90° ، وتثبيت أجهزة ومعدات إضافية; يسمح التكوين المعياري بتثبيت مجهر مسبار المسح القياسي في Certus Standard على المجاهر الضوئية التقليدية (المباشرة أو المقلوبة) ، جنبا إلى جنب مع الأجهزة البصرية وترقيتها إلى تعديلات Certus Optic и Centaur.; وقد نفذت التقنيات الأساسية لإدارة السياسات الخاصة. لتغيير وضع تشغيل مجهر مسبار المسح (على سبيل المثال ، التبديل من التشغيل في وضع مجهر القوة الذرية إلى وضع مجهر المسح النفقي) ، يكفي تغيير حامل المسبار.

Ratis هو مسح ضوئي متوازي للمستوى الجهاز عبارة عن جسم معدني مترابط (مصنوع من سبيكة عالية الجودة ، عادة من الألومنيوم) ، حيث توجد قنوات لمشغلات بيزوسيراميك ، وعناصر طاولة متحركة ، إلخ. يتم تشكيلها عن طريق التآكل الكهربائي وطرق المعالجة الدقيقة الأخرى. يوفر هذا التصميم خطية ممتازة وتسطيحا للحركة ، على عكس الماسحات الضوئية الكلاسيكية القائمة على أنبوب بيزو ، والتي يكون سطح المسح عبارة عن كرة. بالإضافة إلى ذلك ، تتمتع الماسحات الضوئية المتوازية المستوية بقوة ميكانيكية عالية مقارنة بأنابيب بيزو الهشة.

وهي مصممة للتحقيقات المعقدة للخصائص الفيزيائية للسطح بطرق الفحص المجهري البصري الكلاسيكي ، الفحص المجهري بالليزر متحد البؤر ، التحليل الطيفي متحد البؤر والمسح المجهري للمسبار (الفحص المجهري للقوة الذرية). . فإنه يسمح الحصول على أطياف كاملة من رامان (رامان أو رامان) تشتت و/أو مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur Duos يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.). المجهري). . فإنه يسمح الحصول على أطياف كاملة من رامان (رامان) تشتت و/أو مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur Duos يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.).

مسح مطياف رامان متحد البؤر مع خيار СЗМ الأبعاد المدمجة أتمتة كاملة للنظام التصميم الأصلي من مطياف فتحة عالية للجهاز مع الحد الأدنى من الخسائر البصرية. يتم تصنيع الدائرة متحد البؤر وفقا للمخطط الأصلي ، وتوفر أبعادا مدمجة وأقل انجرافات للعناصر البصرية. يوفر المجهر الضوئي المدمج البحث عن موقع مناسب للقياسات. تستخدم المكونات الميكانيكية الدقيقة والبصريات في التصميم. يمكن استخدامه في كل من المختبرات الصناعية والجامعات البحثية.

تم تصميم مجمع Certus Optic I للعمل مع تقنيات الفحص المجهري للقوة البصرية والذرية في دراسة الأجسام البيولوجية وأفلام البوليمر. Certus XYZ СЗМ المسح رئيس ل أفم التصوير (التضاريس بشكل عام) و/أو تحديد المواقع من التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة; جهاز تحديد المواقع والمسح الضوئي(XY(Z) بيزوستوليك) Ratis لتحديد المواقع العينة بالنسبة إلى مجال الرؤية من المجهر و/أو مسح العينة; مجهر بصري مقلوب كلاسيكي لعرض موضوع البحث وتوجيه المسبار إلى موضوع البحث أو وضع العينة بالنسبة إلى مجال رؤية المجهر; جهاز تحديد المواقع عينة لاختيار منطقة على سطح أو في وحدة تخزين; كاميرا فيديو رقمية لتصور الصورة المرصودة على الكمبيوتر والتقاط الصور; وحدة تحكم СЗМ موحدة EG-3000 للسيطرة على جميع أجزاء المجمع; برنامج NSpec.

مجهر مسبار المسح (СЗМ) مجهزة أصحاب التحقيق المتخصصة والمعدات البصرية اللازمة لإجراء البحوث باستخدام تأثير المجال القريب. يعتمد الفحص المجهري البصري القريب من المجال على استخدام خصائص المجال القريب (الزائل) ، مما يجعل من الممكن التغلب على حد الحيود للفحص المجهري البصري الكلاسيكي. تتضمن جميع المجاهر القريبة من المجال العديد من عناصر التصميم الأساسية: مسبار; نظام نقل التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة على طول 2 (X-Y) أو 3 (X-Y-Z) الإحداثيات (نظام المسح الضوئي); نظام التسجيل; النظام البصري.

مسح المجهر التحقيق (СЗМ) جنبا إلى جنب مع المجهر الضوئي المباشر من فئة البحوث. الغرض منه هو البحث عن طريق طرق الفحص المجهري للقوة البصرية والذرية. Certus XYZ СЗМ المسح رئيس ل أفم التصوير (التضاريس بشكل عام) و/أو تحديد المواقع من التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة; جهاز تحديد المواقع والمسح الضوئي(XY(Z) بيزوستوليك) Ratis لتحديد المواقع العينة بالنسبة إلى مجال الرؤية من المجهر و/أو مسح العينة; مجهر بصري مباشر (Olympus BX 51 كمعيار) لعرض موضوع البحث وتوجيه المسبار إلى موضوع البحث أو وضع العينة بالنسبة إلى مجال رؤية المجهر; الميكانيكية Z الحركة للعدسة; حركة بيزو أحادية المحور للعدسة المتجهة للحصول على دقة تركيز إضافية, التركيز التلقائي والطبقات واسعة المجال 3d الصور; جهاز تحديد المواقع عينة لاختيار منطقة على سطح أو في وحدة تخزين; وحدة تحكم واحدة على سبيل EG-3000 للتحكم في جميع أجزاء المجمع; برنامج NSpec.