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其设计目的是在真空电弧镀膜过程中旋转真空室中的产品。 为了消除溅射过程中产生的热负荷传递，驱动装置采用了轴冷却系统。 从结构上看，旋转驱动装置是一个整体，包括非标准磁流体密封、冷却系统、41 型 IG-80WGM 减速电机，电源电压为 24V，传动比为 1/210。齿轮减速机由 BLSD-20 装置控制。为了精确定位轴的位置，驱动装置配备了 BS5-V2M 光电传感器。 磁流体密封提供了高真空度，延长了传动装置的使用寿命。 主要特点 -真空室的极限压力为 1*10-6Pa； -氦气流量不超过 10-12 m3Pa/s； -用于固定平台的轴直径为 25mm。

伽马辐射探测装置(BDKG-05M、BDKG-11M、BDKG-19M、BDKG-201M、BDKG-203M、BDKG-205M、BDKG-211M、BDKG-219M)，用作地面、航空和海洋应用的固定和移动辐射监测站和机器人装置的一部分

它的设计是为了测量产品的非直线度、非平行度、非垂直和非水平表面，以及通过视觉测量孔的不对中。 技术规格: 聚焦极限，m 从0到∞ 聚焦到无穷大时瞄准管的放大倍数 26 读数装置的测量极限，mm 从0到2 分割计数装置的刻度的价格，mm 0,01 外筒轴线的瞄准管的视线的不平行性 是4.5" 瞄准管的分辨率极限 6,5" 用于调整瞄准管在安装装置中的位置的限制: 线性，毫米: 水平方向 垂直方向 角落: 水平方向 垂直方向 绕光轴 12 7 4° 2,5° 6° 方形图章的测量限值，mm: 水平方向 垂直方向 从0到36 从0到36 测量极限根据品牌与同心圆，mm ±26 测量极限根据品牌与直径40mm的同心圆，mm ±13 瞄准管的着陆直径 64 平均视距误差，微米: 在带有同心圆的邮票上 在一张有正方形数字的邮票上 注意。 L是从瞄准管末端到标记的距离，单位为米。 ±(2+3L) ±(4+4,5升) 瞄准管允许基本误差的极限，mm: 当聚焦于带有同心圆的邮票时 当聚焦于带有方形数字的邮票时 ±(0,02 + 5•10^-3升) ±(0,02 + 7•10^-3升) 整体尺寸，mm，没有更多: 瞄准管,瞄准管 安装装置 525x130x120 300x260x200

修改"B"的VK-3m2真空压缩机由灰铸铁和普通等级的钢制成，修改"H"-工作轮由铝制成，其余部件由铸铁和普通等级的钢制成。 压缩机转子的旋转可以向左或向右。用途：改装"B"和"H"的vk-ZM2真空压缩机的安装旨在在封闭设备中创建真空或小超压。主要应用领域："B"改装的VK-ZM2真空压缩机的安装设计用于空气提取和在真空机器上用于输送水。改性"H"设计用于吸入由物质蒸发形成的侵蚀性混合物。技术性能：初始压力，标称，abs。,MPa(kgf/cm2)， 在泵模式0.04(0.4)， 在压缩机模式0.1(1.0)。 最终压力，标称，abs。,MPa(kgf/cm2) 在泵模式0.1(1.0)， 在压缩机模式0.15(1.5)。初始和最终压力标称值下的生产率，m3/min， 在压力（初始）abs。,-MPa(kgf/cm2)0.04(0.4)2.2±10%， 在压力（最终）abs。,-MPa(kgf/cm2)0.15(1.5)2.2±10%， 在压力（最终）abs。,-MPa(kgf/cm2)0.2(2.0)1.35±10%，耗电量不超过千瓦， 泵模式下6.0±10%， 在压缩机模式7.5±10% ，转子转速，rpm1500， 要倒入的油量，l10.0， 每份外卖的石油消耗量，g/h40.0， 通过轴封漏油，不超过，cm3/h20.0， 油加热温度最高。，OS100.0， 真空压缩机的质量，不超过，公斤， 修改"B"135， 修改"H"123。

记录剂量率水平和超过阈值水平的数据 将检测单元和温度传感器放置在距离控制面板最多1km的距离处的可能性 避免直接受吃水的额外保护

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。

具有标准准直器的辐射源 • 带有钨和铅防护的旋转式源转盘 • 程序控制源的移动和可移动平台的定位 • 辐射控制系统和锁定系统以确保设备的安全性 • 可通过操作面板或计算机进行控制和校准自动化功能