مصنع دفعة وحيد الغرفة VATT 1600-TK
تركيب دفعة من غرفة واحدة يعتمد على كاميرا بحجم 1600 مم. مع نظام الترسيب الحراري المقاوم (20 مبخرا مقاوما ، التيار المقنن للوحدة 800-1000 أ) ونظام الترسيب الكيميائي للبلازما لطبقة السيليكون العضوي (13.56 ميجاهرتز ، 1000 واط).
يتم تثبيت المنتجات على أجهزة خاصة على الأسطوانة ، مع نظام دوران كوكبي. وقد تم تجهيز التثبيت مع 2 الطبول مع عربات انزلاق.
بالتتابع ، تتم معالجة بلازما تفريغ التوهج ، ويتم تطبيق طبقة الألومنيوم العاكسة ، ويتم تطبيق طبقة السيليكون العضوي الواقية في بلازما تفريغ الترددات اللاسلكية.
وقد تم تجهيز عربة المتداول للأسطوانة مع محرك كهربائي. تشتمل مجموعة التثبيت على مجموعتين من البراميل مع عربة التراجع.
يتكون الجزء عالي الفراغ من أربع وحدات زيت بخار نشرAVDM-400. وتستخدم اثنين من المضخات AVZ - 125 ومضخة DVN 500 لضخ ما قبل فراغ.
يمكن أن يعمل التثبيت في أوضاع يدوية وتلقائية. يعتمد نظام التحكم على وحدة تحكم وجهاز كمبيوتر مع إخراج المعلمات إلى الشاشة.
صنع في: كازان